[發明專利]一種鋁鈧合金濺射靶材的制備方法

在審

• 申請號: 202010511640.4
• 申請日: 2020-06-08
• 公開（公告）號: CN111636054A
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 蔡小勇;張科;侯慶龍;吳榮禎;曹建亮;李強
• 申請（專利權）人: 福建阿石創新材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/06;B22F9/08;B22F3/15
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 趙曉琳

1.一種鋁鈧合金濺射靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

將鋁源和鈧源混合，將所得鋁鈧合金配料進行真空熔煉，得到鋁鈧熔融合金液；

利用惰性氣流將所述鋁鈧熔融合金液進行真空氣霧化，得到鋁鈧合金粉；

將所述鋁鈧合金粉依次進行外包套和熱等靜壓成型，得到鋁鈧合金濺射靶坯；

將所述鋁鈧合金濺射靶坯進行綁定機加工，得到鋁鈧合金濺射靶材。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述鋁鈧合金配料中鈧和鋁的原子數之比為1：(9～2.5)：7.5；

所述鋁源的純度≥99.999％；

所述鈧源的純度≥99.99％。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述真空氣霧化的工藝參數為：霧化室的進口壓力為20～25MPa，出口壓力為1～10MPa；惰性氣流的噴氣壓力為1.6～1.9MPa，流量為20～30Nm³/min。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述鋁鈧合金粉粒度為30～150μm。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓成型采用先加熱后加壓保溫的熱等靜壓成型方式，所述加熱的溫度為1000～1350℃，加壓保溫的壓力為50～100MPa，加壓保溫的時間為1～4h。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述真空熔煉的溫度為1100～1400℃，時間為20～30min。

7.根據權利要求1或6所述的制備方法，其特征在于，所述真空熔煉的真空度為3×10^-3～6×10^-3Pa。

8.根據權利要求1或6所述的制備方法，其特征在于，所述鋁鈧熔融合金液的過熱溫度為100～250℃。

9.權利要求1～8任一項所述制備方法制備的鋁鈧合金濺射靶材。

10.權利要求9所述鋁鈧合金濺射靶材在制備ScAlN薄膜或作為pMEMS器件中的應用。