[發明專利]耐磨防刮薄膜及其制備方法

在審

• 申請號: 202010499575.8
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN111519155A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 田夢軍;薛濤;李勇;劉新池;龔邦根;王金振;張佳欣
• 申請（專利權）人: 維達力實業（深圳）有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 潘艷麗

1.一種耐磨防刮薄膜，其特征在于：包括基材、金屬打底層、第一過渡層、第二過渡層以及顏色層；

所述金屬打底層具有用于貼合在所述基材表面的貼合面以及與所述貼合面相對設置的功能面；所述第一過渡層位于所述功能面，所述第二過渡層位于所述第一過渡層遠離所述金屬打底層的表面；所述顏色層位于所述第二過渡層遠離所述第一過渡層的表面；

所述第二過渡層為鈦鉻過渡層。

2.如權利要求1所述的耐磨防刮薄膜，其特征在于：所述金屬打底層、所述第一過渡層、所述第二過渡層與所述顏色層的厚度比為(1～3):(6～10):1:(3～5)。

3.如權利要求2所述的耐磨防刮薄膜，其特征在于：所述第二過渡層的厚度為0.05μm～0.2μm。

4.如權利要求1～3中任一項所述的耐磨防刮薄膜，其特征在于：所述金屬打底層為金屬Ti打底層、金屬Cr打底層或金屬TiCr打底層。

5.如權利要求1～3中任一項所述的耐磨防刮薄膜，其特征在于：所述第一過渡層為TiCrN過渡層、CrN過渡層或TiN過渡層。

6.如權利要求1～3中任一項所述的耐磨防刮薄膜，其特征在于：所述第二過渡層為TiCrCN過渡層或TiCrN過渡層。

7.如權利要求1～3中任一項所述的耐磨防刮薄膜，其特征在于：所述顏色層為TiCrCN顏色層、TiCrN顏色層或TiN顏色層。

8.一種耐磨防刮薄膜的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：

在基材上形成金屬打底層；通過第一磁控濺射在所述金屬打底層的表面形成第一過渡層；通過第二磁控濺射在所述第一過渡層的表面形成第二過渡層；通過第三磁控濺射在所述第二過渡層的表面形成顏色層；

所述第二過渡層為鈦鉻過渡層；

所述第二磁控濺射中，鈦靶接高功率脈沖磁控濺射電源，所述高功率脈沖磁控濺射電源的功率為5kW～10kW、電流為100A～500A，鉻靶接中頻磁控濺射電源，所述中頻磁控濺射電源的功率為3kW～12kW。

9.如權利要求8所述的耐磨防刮薄膜的制備方法，其特征在于：

所述第一磁控濺射采用中頻磁控濺射電源，所述中頻磁控濺射電源的功率為3kW～12kW；所述第三磁控濺射采用高功率脈沖磁控濺射電源，所述高功率脈沖磁控濺射電源的功率為5kW～10kW、電流為100A～500A。

10.如權利要求8～9中任一項所述的耐磨防刮薄膜的制備方法，其特征在于：采用中頻磁控濺射電源在所述基材上形成所述金屬打底層，所述中頻磁控濺射電源的功率為3kW～12kW。