[發(fā)明專利]一種用于制備超薄鈦箔的化學(xué)銑切液及銑切方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010494890.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111593349B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葛荘;賀賢漢;歐陽(yáng)鵬;王斌;馬敬偉;張恩榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇富樂(lè)華半導(dǎo)體科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/26
• 分類號(hào): C23F1/26;C23F1/04
• 代理公司: 上海申浩律師事務(wù)所 31280
• 代理人: 趙建敏

1.一種用于制備超薄鈦箔的化學(xué)銑切液，其特征在于，由下述組分組成：

體積分?jǐn)?shù)分別為15％～25％的氫氟酸溶液、1％～3％的硝酸溶液、5％～8％的冰醋酸溶液，濃度為0.1～0.5g/100mL銑切液的緩蝕穩(wěn)定劑，余量為純水，

其中，所述氫氟酸溶液的化學(xué)質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3％；所述硝酸溶液的化學(xué)質(zhì)量分?jǐn)?shù)為63％；所述冰醋酸溶液的化學(xué)質(zhì)量分?jǐn)?shù)為99.5％；

所述緩蝕穩(wěn)定劑為聚丙烯酰胺。

2.采用權(quán)利要求1中的化學(xué)銑切液制備超薄鈦箔的銑切方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)鈦箔表面除油清洗：待處理鈦箔依次在丙酮、無(wú)水乙醇、純水中超聲浸洗共計(jì)5min-10min后烘干取出；

2)化學(xué)銑切：將經(jīng)步驟1)處理后的鈦箔浸沒(méi)在所述化學(xué)銑切液中，輔以輕微超聲震動(dòng)，銑切1min-4min；

3)表面清洗：銑切后的鈦箔依次在丙酮、純水中浸洗共計(jì)6min-10min。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備超薄鈦箔的銑切方法，其特征在于：

其中，步驟1)中，待處理鈦箔在丙酮溶液中超聲浸洗3min-5min；在無(wú)水乙醇中超聲浸洗1min-3min；在純水中超聲浸洗1min-3min，

烘干條件為放置于80℃-100℃的干燥箱中10min-15min。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于制備超薄鈦箔的化學(xué)銑切液，其特征在于：

其中，步驟3)中鈦箔在丙酮溶液中浸洗3min-5min，在純水中浸洗3min-5min。