[發明專利]分離器件金絲鍵合過渡結構有效
| 申請號: | 202010481119.0 | 申請日: | 2020-05-31 |
| 公開(公告)號: | CN111640682B | 公開(公告)日: | 2022-07-08 |
| 發明(設計)人: | 杜明;張凱 | 申請(專利權)人: | 西南電子技術研究所(中國電子科技集團公司第十研究所) |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;H01L21/56 |
| 代理公司: | 成飛(集團)公司專利中心 51121 | 代理人: | 郭純武 |
| 地址: | 610036 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 分離 器件 金絲 過渡 結構 | ||
1.一種分離器件金絲鍵合過渡結構,包括:設置在多層介質板(1)中部的介質集成同軸體(2),固定在介質集成同軸體(2)中心的內導體金屬化過孔(3),圍繞內導體金屬化過孔(3),圓陣分布在介質集成同軸體(2)盤面外的外導體金屬化過孔(4),其特征在于:內導體金屬化過孔(3)上端連接有一扇形金屬盤(7),扇形金屬盤(7)通過扇柄(9)尾端上的扇柄套環(8)連接在內導體金屬化過孔(3)的內導體上,鍵合金絲(11)的兩條分支線通過扇面(10)圓弧面上的兩個鍵合球級聯過渡連接到分離器件(12)的鍵合點上,實現分離器件(12)到介質集成同軸體(2)的平滑過渡,并且介質集成同軸體(2)盤面的外緣上刻蝕有圓形缺口(6),扇面(10)與多層介質板(1)的上表面地(5)形成平板電容特性,扇面(10)通過邊緣電容效應來抵消鍵合金絲(11)金絲鍵合產生的寄生電感效應。
2.如權利要求1所述的分離器件金絲鍵合過渡結構,其特征在于:多層介質板(1)是混壓印制板,或高、低溫共燒陶瓷實現的多層電路結構的電路板。
3.如權利要求1所述的分離器件金絲鍵合過渡結構,其特征在于:介質集成同軸體(2)垂直于多層介質板(1),其中,內導體金屬化過孔(3)等效為其內導體,外導體金屬化過孔(4)等效為其外導體,且金屬化過孔(4)按圓形軌跡圍繞在金屬化過孔(3)周圍。
4.如權利要求1所述的分離器件金絲鍵合過渡結構,其特征在于:內導體金屬化過孔(3)等效為其內導體,外導體金屬化過孔(4)等效為其外導體,且金屬化過孔(4)按圓形軌跡圍繞在金屬化過孔(3)周圍。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





