[發(fā)明專利]一種系統(tǒng)級封裝方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010469116.5 | 申請日: | 2020-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN111640675A | 公開(公告)日: | 2020-09-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 謝建友;馬曉波 | 申請(專利權(quán))人: | 通富微電子股份有限公司技術(shù)研發(fā)分公司 |
| 主分類號: | H01L21/48 | 分類號: | H01L21/48;H01L23/31;H01L23/52;H01L23/053 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎堅怡 |
| 地址: | 226000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 系統(tǒng) 封裝 方法 | ||
1.一種系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,所述系統(tǒng)級封裝方法包括:
在主芯片的功能面上的連接焊盤上形成導(dǎo)電件并在所述主芯片的側(cè)面和功能面形成塑封層,且所述導(dǎo)電件的一端從所述塑封層中露出;
利用打線的方式將所述導(dǎo)電件的所述一端與第一封裝模塊電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,所述在主芯片的功能面上的連接焊盤上形成導(dǎo)電件并在所述主芯片的側(cè)面和功能面形成塑封層,包括:
在所述主芯片的功能面形成光刻膠,并在所述光刻膠對應(yīng)所述連接焊盤的位置開設(shè)第一開口;
在所述第一開口內(nèi)形成所述導(dǎo)電件;
去除所述光刻膠;
在所述主芯片的側(cè)面和所述導(dǎo)電件的側(cè)面形成所述塑封層,且所述導(dǎo)電件的一端從所述塑封層中露出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,所述在所述主芯片的側(cè)面和所述導(dǎo)電件的側(cè)面形成所述塑封層,包括:
在所述主芯片側(cè)面和功能面上形成所述塑封層,且所述塑封層覆蓋所述導(dǎo)電件;
研磨所述塑封層遠離所述主芯片的功能面一側(cè)以使所述塑封層與所述導(dǎo)電件齊平,所述導(dǎo)電件從所述塑封層中露出。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,
所述導(dǎo)電件為導(dǎo)電柱。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,所述在主芯片的功能面上的連接焊盤上形成導(dǎo)電件并在所述主芯片的側(cè)面和功能面形成塑封層,包括:
在所述主芯片的側(cè)面和所述功能面上形成所述塑封層,并在所述塑封層對應(yīng)所述連接焊盤的位置開設(shè)第二開口;
在所述第二開口內(nèi)形成所述導(dǎo)電件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,所述在所述第二開口內(nèi)形成所述導(dǎo)電件,包括:
在所述第二開口內(nèi)以及與所述第二開口鄰近的所述塑封層的表面形成濺射金屬層;
在對應(yīng)所述第二開口位置處的所述濺射金屬層上形成導(dǎo)電柱;
蝕刻去除位于所述塑封層表面的所述濺射金屬層;其中,所述導(dǎo)電件包括所述導(dǎo)電柱以及位于所述導(dǎo)電柱下方的所述濺射金屬層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,所述在主芯片的功能面上的連接焊盤上形成導(dǎo)電件并在所述主芯片的側(cè)面和功能面形成塑封層之后,包括:
對所述導(dǎo)電件的所述一端表面進行處理,以使所述一端表面更柔軟進而便于打線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,
所述在主芯片的功能面上的連接焊盤上形成導(dǎo)電件并在所述主芯片的側(cè)面和功能面形成塑封層之前,包括:
將至少一個所述主芯片的非功能面黏貼在載板上;
所述利用打線的方式將所述導(dǎo)電件的所述一端與第一封裝模塊電連接之前,包括:去除所述載板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,當所述載板上黏貼有至少兩個所述主芯片時,所述去除所述載板之后,還包括:
切割掉相鄰的所述主芯片之間的部分所述塑封層,以獲得包含單個所述主芯片、所述導(dǎo)電件和所述塑封層的第一封裝體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)級封裝方法,其特征在于,還包括:
在所述第一封裝體和所述第一封裝模塊的外圍設(shè)置保護殼,以使所述第一封裝體和所述第一封裝模塊容置于所述保護殼內(nèi)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





