[發明專利]傳感器、傳感器的制造方法及電子設備在審
| 申請號: | 202010440774.1 | 申請日: | 2020-05-22 |
| 公開(公告)號: | CN111584673A | 公開(公告)日: | 2020-08-25 |
| 發明(設計)人: | 周一安;席克瑞;林柏全;王林志;孔祥建;秦鋒 | 申請(專利權)人: | 成都天馬微電子有限公司;上海天馬微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/108 | 分類號: | H01L31/108;H01L31/0216;H01L27/144;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258 | 代理人: | 尹紅敏 |
| 地址: | 611731 四*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 傳感器 制造 方法 電子設備 | ||
本發明實施例提供一種傳感器、傳感器的制造方法及電子設備,傳感器包括感光器件組,感光器件組具有紅外檢測區和顏色檢測區,感光器件組包括:第一電極層,包括兩個以上第一電極,兩個以上的第一電極包括位于紅外檢測區的第一紅外電極和位于顏色檢測區的第一顏色電極;設置在第一電極層一側的感光結構層,包括位于紅外檢測區的紅外感光元件和位于顏色檢測區的顏色感光元件;第二電極層,位于感光結構層遠離第一電極層一側,包括兩個以上的第二電極,兩個以上的第二電極包括位于紅外檢測區的第二紅外電極和顏色檢測區的第二顏色電極;濾光膜層,位于感光結構層一側,包括位于紅外檢測區的紅外濾光膜。本發明實施例能夠簡化傳感器的結構。
技術領域
本發明涉及檢測設備技術領域,尤其涉及一種傳感器及電子設備。
背景技術
近年,光傳感器被廣泛用于智能手機、數字靜態照相機、平板終端等各種電子設備中。現有技術中的光傳感器通常采用半導體制程,生產工藝復雜、成本較高,且不易擴展。
因此,亟需一種新的傳感器、傳感器的制造方法及電子設備。
發明內容
本發明實施例提供一種傳感器、傳感器的制造方法及電子設備,旨在簡化傳感器的結構。
一方面,本發明實施例提供了一種傳感器,傳感器包括感光器件組,感光器件組具有紅外檢測區和顏色檢測區,感光器件組包括:第一電極層,包括兩個以上第一電極,兩個以上的第一電極包括位于紅外檢測區的第一紅外電極和位于顏色檢測區的第一顏色電極;設置在第一電極層一側的感光結構層,包括位于紅外檢測區的紅外感光元件和位于顏色檢測區的顏色感光元件;第二電極層,位于感光結構層遠離第一電極層一側,包括兩個以上的第二電極,兩個以上的第二電極包括位于紅外檢測區的第二紅外電極和顏色檢測區的第二顏色電極;濾光膜層,位于感光結構層一側,包括位于紅外檢測區的紅外濾光膜。
另一方面,本發明實施例還提供了一種傳感器的制造方法,傳感器包括感光器件組,感光器件組具有紅外檢測區和顏色檢測區,方法包括:
提供襯底基板;
在襯底基板上形成第一導電層,對第一導電層進行圖案化處理形成第一電極層,第一電極層包括兩個以上的第一電極,兩個以上的第一電極包括位于紅外檢測區的第一紅外電極和位于顏色檢測區的第一顏色電極;
在第一電極層遠離襯底基板一側沉積第一絕緣層,并對第一絕緣層進行圖案化形成第一開口,第一開口暴露第一電極;
在第一絕緣層遠離襯底基板一側形成感光器件層,感光器件層包括位于紅外檢測區的紅外感光元件和位于顏色檢測區的顏色感光元件;
在感光器件層遠離襯底基板一側形成第二絕緣層,并對第二絕緣層進行圖案化處理形成第二開口,第二開口暴露感光器件層;
在第二絕緣層遠離襯底基板一側形成第二導電層,對第二導電層進行圖案化處理形成第二電極層,第二電極層包括兩個以上的第二電極,兩個以上的第二電極包括位于紅外檢測區的第二紅外電極和位于顏色檢測區的第二顏色電極;
在第二電極層遠離襯底基板一側設置濾光膜層,濾光膜層包括位于紅外檢測區的紅外濾光膜和位于顏色檢測區的顏色濾光膜。
又一方面,本發明實施例還提供了一種電子設備,包括上述的傳感器。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





