[發明專利]電感元件的制備方法、設備、電感元件及超導電路

有效

• 申請號: 202010431535.X
• 申請日: 2020-05-20
• 公開（公告）號: CN113257552B
• 公開（公告）日: 2022-03-04
• 發明（設計）人: 高然;周經緯;鄧純青
• 申請（專利權）人: 阿里巴巴集團控股有限公司
• 主分類號: H01F41/00
• 分類號: H01F41/00;H01L39/02
• 代理公司: 北京太合九思知識產權代理有限公司 11610
• 代理人: 孫明子;劉戈

本發明實施例提供了一種電感元件的制備方法、設備、電感元件及超導電路。制備方法包括：獲取用于制備電感元件的化合物，化合物的超導相干長度與磁場穿透深度滿足預設條件；對化合物進行退火操作，以使化合物中包括的非超導體相與超導體相出現相分離，生成電感元件，其中，電感元件的動態電感大于幾何電感。本實施例提供的技術方案，通過獲取用于制備電感元件的化合物，對化合物進行退火操作，使得化合物中包括的非超導體相與超導體相出現相分離，從而可以生成動態電感大于幾何電感的電感元件，并且有效地降低了對電感元件的制備難度和制備流程。

技術領域

本發明涉及超導材料技術領域，尤其涉及一種電感元件的制備方法、設備、電感元件及超導電路。

背景技術

具有高動態電感且無損耗的電感元件是制備超導磁通量子比特的必要組件。現有技術中，制備具有高動態電感的電感元件的方法可以包括：利用第一類超導體制備多個(大約100個)串聯的約瑟夫森結，其中，第一類超導體是指超導相干長度大于磁場穿透深度的超導體；在生成多個串聯的約瑟夫森結之后，由于約瑟夫森結的結構特性可以使得載流子密度產生長程波動，打破超導體長程有序性，從而增強了超導體的動態電感。

然而，上述的制備方式具有以下缺陷：制備工藝較為繁瑣，同時，在將約瑟夫森結進行串聯形成陣列時，容易引入寄生共振模量，從而會降低對超導量子比特進行測量的準確性和可靠性。

發明內容

本發明實施例提供了一種電感元件的制備方法、參數配置方法、設備、電感元件及超導電路，通過對超導相干長度與磁場穿透深度滿足預設條件的化合物進行退火操作,使得化合物中包括的非超導體相與超導體相出現相分離的情況,從而生成了動態電感大于幾何電感的電感元件，并且有效地降低了對電感元件的制備難度和制備流程，提高了對超導量子比特進行測量的準確性和可靠性。

第一方面，本發明實施例提供了一種電感元件的制備方法，包括：

獲取用于制備電感元件的化合物，所述化合物的超導相干長度與磁場穿透深度滿足預設條件；

對所述化合物進行退火操作，以使所述化合物中包括的非超導體相與超導體相出現相分離，生成所述電感元件，其中，所述電感元件的動態電感大于幾何電感。

第二方面，本發明實施例提供了一種電感元件，利用上述第一方面所述的電感元件的制備方法制備獲取。

第三方面，本發明實施例提供了一種超導電路，包括上述第二方面所述的電感元件。

第四方面，本發明實施例提供了一種量子芯片，包括上述第二方面所述的電感元件。

第五方面，本發明實施例提供了一種電感元件的制備設備，包括：存儲器、處理器；其中，所述存儲器用于存儲一條或多條計算機指令，其中，所述一條或多條計算機指令被所述處理器執行時實現如第一方面所述的電感元件的制備方法。

第六方面，本發明實施例提供了一種計算機存儲介質，用于儲存計算機程序，所述計算機程序使計算機執行時實現上述第一方面所述的電感元件的制備方法。

第七方面，本發明實施例提供了一種參數配置方法，包括

獲取用戶針對退火控制參數輸入的執行操作，所述退火控制參數用于對用于制備電感元件的化合物進行退火操作；

基于所述執行操作對所述退火控制參數進行調整，獲得目標退火控制參數，以使得在利用目標退火控制參數對所述化合物進行退火操作時，所述化合物中包括的非超導體相與超導體相出現相分離，生成所述電感元件，并且，所述電感元件的動態電感大于幾何電感。

第八方面，本發明實施例提供了一種參數配置裝置，包括：

獲取模塊，用于獲取用戶針對退火控制參數輸入的執行操作，所述退火控制參數用于對用于制備電感元件的化合物進行退火操作；