[發(fā)明專(zhuān)利]饋通裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010430045.8
• 申請(qǐng)日: 2020-05-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113707366A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪玉河;胡瑞滄;王德民;簡(jiǎn)鉦茂
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 漢辰科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01B5/00
• 分類(lèi)號(hào): H01B5/00
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 徐偉

一種饋通裝置，包括具有至少一個(gè)導(dǎo)線孔洞的一中介板，在此每一個(gè)導(dǎo)線孔洞都可以讓至少一導(dǎo)線自中介板的一側(cè)貫穿通過(guò)其間而抵達(dá)中介板的另一側(cè)，也都可以再有一個(gè)由絕緣材料所形成彈性墊子位于其中并且隔離開(kāi)中介板與通過(guò)此導(dǎo)線孔洞的至少一導(dǎo)線，并且每一條導(dǎo)線都包含了用以傳遞電流的導(dǎo)體線以及圍繞包覆導(dǎo)體線的絕緣材料層。在每一個(gè)導(dǎo)線孔洞的內(nèi)部，通過(guò)其間的一或多導(dǎo)線的絕緣材料層或者位于其間的彈性墊子，會(huì)受到壓力而發(fā)生形變，進(jìn)而使得導(dǎo)體線與中介板之間并不存在氣體可以通過(guò)的空隙。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明有關(guān)于一種饋通裝置，特別有關(guān)于一種適合用來(lái)在其相對(duì)兩側(cè)的真空程度不一樣時(shí)防止通過(guò)其間的導(dǎo)線發(fā)生放電現(xiàn)象的饋通裝置。

背景技術(shù)

饋通裝置(Feedthrough Apparatus)已經(jīng)廣泛地被應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、微機(jī)電產(chǎn)業(yè)、面板產(chǎn)業(yè)與存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)等等產(chǎn)業(yè)，舉凡在不同真空程度的兩個(gè)環(huán)境之間，或是在二個(gè)真空度明顯有差距的硬件之間，或甚至在二個(gè)會(huì)相對(duì)運(yùn)動(dòng)(相對(duì)移動(dòng)及/或相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)都可以)的硬件之間，都可以使用饋通裝置做為二者之間的接口，并且讓傳導(dǎo)電流、電能量及/或電訊號(hào)的導(dǎo)線可以自某一者經(jīng)由饋通裝置而到達(dá)另一者。舉例來(lái)說(shuō)，美國(guó)專(zhuān)利公報(bào)第6156978號(hào)披露了一種電性饋通裝置及其形成方法(Electrical Feedthrough and ItsPreparation)、美國(guó)專(zhuān)利公報(bào)第7706275號(hào)披露了一種具有多層饋通孔(Feedthrough)的基底載具(Substrate Support Having Brazed Plates and Resistance heater)、而美國(guó)專(zhuān)利公報(bào)第6538872號(hào)披露了一種可以減少O型環(huán)(O-ring)被高溫?fù)p壞的靜電夾具(e-chuck)(Electrostatic Chuck Having Heater and Method)，在此O型環(huán)是用來(lái)防止饋通孔(Feedthrough)發(fā)生泄漏或放電。

舉例來(lái)說(shuō)，如圖1A和圖1B所示，饋通裝置100可以被用來(lái)連接二個(gè)相鄰但是相互分離的硬件裝置，像是在離子布植機(jī)中可以用來(lái)讓導(dǎo)線140貫穿其中而連接靜電吸盤(pán)(staticelectric chuck，ESC)191和基座(pedestal)192，又像是在兩個(gè)反應(yīng)室193/195之間可以用來(lái)通過(guò)導(dǎo)線140連接位于其內(nèi)部不同的真空環(huán)境194/196中的不同硬件裝置198/199。

一般來(lái)說(shuō)，如圖1C到圖1D所示，現(xiàn)有普遍使用的商業(yè)化饋通裝置100的結(jié)構(gòu)，是一個(gè)由陶瓷材料所制作的中介板110，并且存在有一或多個(gè)導(dǎo)線孔洞120分別自此中介板110的一側(cè)貫通到相對(duì)的另一側(cè)。藉此，一或多條用來(lái)傳輸電流、電能量及/或電訊號(hào)的導(dǎo)線140可以經(jīng)由這些導(dǎo)線孔洞120自中介板110的一側(cè)而抵達(dá)中介板110的另一側(cè)，從而在不同真空程度的不同空間之間，或者在相互分離的不同硬件之間，傳輸電流、電能量及/或電訊號(hào)。并且，這些導(dǎo)線140與中介板110彼此之間是以異質(zhì)焊接130(Heterogeneous Welding)的方式相互連接，藉以封閉住導(dǎo)線140與中介板110之間的空隙進(jìn)而隔離分開(kāi)中介板110兩側(cè)(像是兩側(cè)的不同真空環(huán)境)。而且，為了避免發(fā)生電流短路等問(wèn)題，也往往是使用絕緣材料所制作的套環(huán)150來(lái)環(huán)繞導(dǎo)線140，至少環(huán)繞住位于中介板110某一側(cè)的部分導(dǎo)線140，藉以減少導(dǎo)線140發(fā)生放電(discharge)進(jìn)而傷害到靠近中介板110此一側(cè)的周?chē)布蚴菍?dǎo)線140不能正常傳輸?shù)娘L(fēng)險(xiǎn)。