[發明專利]一種快速形成徑向溫度梯度分布的工裝

在審

• 申請號: 202010418941.2
• 申請日: 2020-05-18
• 公開（公告）號: CN111561835A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 毛丹波;毛羽豐;范斌;杜峻峰
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: F28F21/08
• 分類號: F28F21/08;G02B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：所述工裝包括圓形底部(1)、傳熱主體(2)、圓形工作平臺(3)、保溫層(4)、石英基片(5)和導熱硅脂(6)；其中水平圓形底部(1)用于連接熱源提供恒定溫度，傳熱主體(2)依靠本身的導熱特性及與外界環境的熱交換從而達到動態溫度平衡，其側面采用的是保溫層(4)進行隔熱保溫，賦予圓形工作平臺(3)的溫度呈環向均勻分布、徑向呈一定溫度梯度分布，為了減小接觸熱阻，石英基片(5)通過導熱硅脂(6)與工作平臺(3)形成面接觸，最后達到石英基片(5)表面溫度呈環向均勻分布、徑向呈一定溫度梯度分布。

2.根據權利要求1所述的快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：工裝主體材質熱導率≥155W·K^-1·m^-1，比如6061鋁合金，6063鋁合金，1050鋁合金，1070鋁合金，銅，鋁等，石英基片(5)熱導率為1.39W·K^-1·m^-1。

3.根據權利要求1所述的快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：水平圓形底部(1)尺寸Ф5-Φ50mm，傳熱主體(2)形狀為圓柱形或者V形或者碗形或者凹弧形，圓形工作平臺(3)尺寸≥Ф430mm。

4.根據權利要求1所述的快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：圓形底部(1)下表面、工作平臺(3)上表面與石英基片(5)下表面的平面度優于0.05mm/m²，圓形底部(1)與工作平臺(3)平行度優于0.02。

5.根據權利要求1所述的快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：熱源溫度30-60℃，控溫精度0.1℃，環境溫度25℃，工裝與環境的換熱系數≤1W·K^-1·m^-1。

6.根據權利要求1所述的快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：側面保溫層(4)采用泡沫隔熱棉或者鋁箔隔熱棉進行粘覆，只有石英基片(5)的上表面及側面與環境換熱。

7.根據權利要求1所述的快速形成徑向溫度梯度分布的工裝，其特征在于：通過設計工裝尺寸、調控熱源溫度可對石英基片(5)表面溫度梯度分布進行精確控制。