[發(fā)明專利]一種大口徑光學(xué)成像級聚酰亞胺薄膜制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010418538.X | 申請日： | 2020-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN111647180B | 公開（公告）日： | 2022-10-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 毛丹波;毛羽豐;范斌;杜峻峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | C08J5/18 | 分類號： | C08J5/18;C08L79/08 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 口徑 光學(xué) 成像 聚酰亞胺 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種大口徑光學(xué)成像級聚酰亞胺薄膜制備方法，其特征在于：通過預(yù)先給膠液施加一環(huán)向均勻、徑向呈梯度分布的溫度來調(diào)控其粘度，從而控制膠液徑向厚度分布，經(jīng)控溫/常溫疊加多次旋涂，直至得到所需厚度的聚酰亞胺薄膜，薄膜厚度≥20μm，薄膜口徑≥Φ400mm，薄膜透射波前RMS≤1/25λ，滿足系統(tǒng)成像質(zhì)量要求；
其中，膠液控溫方式可采用底部接觸式和上方紅外非接觸式輻射形成溫度梯度分布；
膠液控溫溫度范圍30～80℃，溫度由圓心到外徑呈內(nèi)高外低連續(xù)分布；
聚酰胺酸的固含量為5％～10％，常溫時零切粘度為7000～20000cp。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大口徑光學(xué)成像級聚酰亞胺薄膜制備方法，其特征在于：采用控溫/常溫疊加多次旋涂的方法，膠液200℃熱處理后再進(jìn)行下次旋涂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1～2任一項所述的大口徑光學(xué)成像級聚酰亞胺薄膜制備方法，其特征在于：所述制備方法具體包括以下步驟：
步驟1：將預(yù)先制備好的聚酰胺酸膠液流平至石英基片上，并浸潤整個基片；
步驟2：給膠液施加一環(huán)向均勻、徑向呈梯度分布的溫度，并靜置平衡1小時；
步驟3：將步驟2中的石英基片在隔熱載物臺上機(jī)械固定；
步驟4：在一定工藝下旋涂制得濕膜并進(jìn)行80℃烘干半小時；
步驟5：連同石英基片放進(jìn)烘箱進(jìn)行200℃熱處理1小時，降溫至室溫；
步驟6：將預(yù)先制備好的聚酰胺酸膠液流平至步驟5的石英基片上，并將其固定在載物盤上；
步驟7：重復(fù)步驟4，隨后進(jìn)行高溫亞胺化處理，完成一個循環(huán)；
步驟8：最后將薄膜從基片上剝離下來，得到大口徑光學(xué)成像級聚酰亞胺薄膜。
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