[發(fā)明專利]基于并五苯有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管與PVDF納米柱相耦合的柔性智能壓電傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010416810.0
• 申請(qǐng)日: 2020-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN111554670B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張叢叢;劉宏;王建;孫銘遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 濟(jì)南大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L25/16
• 分類號(hào): H01L25/16;H01L21/50
• 代理公司: 濟(jì)南譽(yù)豐專利代理事務(wù)所(普通合伙企業(yè)) 37240
• 代理人: 薛鵬喜

1.基于并五苯有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管與PVDF納米柱相耦合的柔性智能壓電傳感器的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

(1)將PET薄膜清洗并干燥，制得襯底；在襯底上沉積厚度為100nm的Al薄膜，制得柵極；在柵極上旋涂PMMA溶液得到厚度為100～400nm的PMMA薄膜，真空干燥制得介電層；在介電層上沉積厚度為40nm的并五苯，制得有源層；以透射電鏡銅網(wǎng)為掩模版在有源層上依次沉積厚度為5nm的Cr和厚度為45nm的Au，制得源漏電極；在源漏電極上旋涂PMMA溶液作為保護(hù)層，制得OFET；所述Al薄膜的沉積速率為所述PMMA溶液的濃度為7mg/ml；旋涂速率為4000rpm；所述并五苯的沉積速率為所述透射電鏡銅網(wǎng)的長(zhǎng)度為200μm、寬度為40μm、溝道寬度為20μm；

(2)將PVDF薄膜用超純水和酒精超聲處理并干燥；將鋁基單通AAO模板作為納米倒模模板，用超純水超聲處理并干燥；將干燥好的PVDF薄膜與AAO模板的正面對(duì)齊，并使用稱量紙和玻璃作為隔熱層保護(hù)AAO模板和PVDF薄膜，形成玻璃/稱量紙/AAO模板/PVDF薄膜/稱量紙/玻璃的熱壓結(jié)構(gòu)并對(duì)其進(jìn)行熱壓得熱壓件；將熱壓件上的稱量紙和玻璃移去，然后放置在超純水中使AAO模板脫除，得到一面帶有納米柱的PVDF柔性材料，在PVDF柔性材料的兩面分別蒸鍍厚度為20nm的Au薄膜，制得PVDF柔性壓電材料；所述PVDF薄膜的厚度為28μm；所述PVDF柔性材料上納米柱的直徑為200～400nm，納米柱之間的間距為200nm；

(3)以PVDF柔性壓電材料作為壓電信號(hào)發(fā)生單元，以O(shè)FET作為壓力傳感器，用導(dǎo)電材料將壓電信號(hào)發(fā)生單元兩面的Au薄膜分別與壓力傳感器的柵極和源漏電極連接，形成閉合回路，制得基于并五苯有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管與PVDF納米柱相耦合的柔性智能壓電傳感器。

2.由權(quán)利要求1所述的制備方法制備的基于并五苯有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管與PVDF納米柱相耦合的柔性智能壓電傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性智能壓電傳感器，其特征在于，所述柔性智能壓電傳感器的最低檢測(cè)極限為175Pa，靈敏度為5.17Kpa^-1。

4.權(quán)利要求2或3所述的基于并五苯有機(jī)場(chǎng)效應(yīng)晶體管與PVDF納米柱相耦合的柔性智能壓電傳感器在制備智能電子皮膚中的應(yīng)用。