[發明專利]一種照明面積連續可調均勻照明系統

有效

• 申請號: 202010414867.7
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111399347B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 李文靜;薛業保;章廣飛;王運鋼
• 申請（專利權）人: 安徽國芯智能裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;F21V14/06
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 丁瑞瑞

本發明提供了一種照明面積連續可調均勻照明系統，系統包括：依次沿光軸設置的激光光源、光斑調節鏡組、匯聚鏡組，其中，光斑調節鏡組包括：依次設置的第一透鏡以及第二透鏡，第一透鏡的入光面朝向激光光源；第一透鏡的出光面遠離激光光源設置；第二透鏡的入光面朝向第一透鏡的出光面；第二透鏡的出光面朝向光斑調節鏡組的入光面設置；第二透鏡的出光面朝向匯聚鏡組設置；第二透鏡沿光軸方向運動；匯聚鏡組包括：串聯設置的第三透鏡、第四透鏡以及第五透鏡，其中，第三透鏡的入光面朝向第二透鏡的出光面，第三透鏡的出光面朝向第四透鏡的入光面，第四透鏡的出光面朝向第五透鏡的入光面設置。應用本發明實施例，結構更加簡單。

技術領域

本發明涉及激光光刻技術領域，具體涉及一種照明面積連續可調均勻照明系統。

背景技術

隨著現代PCB板技術的發展，光刻技術得到了越來越多的廣泛應用，隨著PCB曝光機對產能的要求越來越高，因此對光源的利用率的要求也越來越高，傳統的照明系統，其照明面積通常是固定的，這個照明面積需要跟接收器匹配，照明面積稍大一點，會降低能量的利用率，照明面積稍小一點，會引起均勻性不好或圖像缺失。因此如何在均勻性和能量利用率之間取得平衡是非常關鍵的。進而如何得到照明面積，即光斑尺寸連續可調的照明系統是亟待解決的技術問題。

現有技術中申請號為201720288170.3的實用新型專利申請揭示了一種LED燈，LED燈包括驅動機構、燈頭組件、散熱機構、第一LED模組、保護機構、第一旋轉機構及第二旋轉機構。燈頭組件設置于驅動機構的一側。散熱機構設置于驅動機構的另一側，散熱機構位于燈頭組件的一側。第一LED模組設置于散熱機構，第一LED模組位于驅動機構的一側。保護機構設置于散熱機構的兩側，保護機構連接驅動機構的另一側，保護機構位于第一LED模組的一側。第一旋轉機構及第二旋轉機構設置于散熱機構，第一旋轉機構及第二旋轉機構位于保護機構間，第二旋轉機構位于第一旋轉機構的一側。本實用新型改進了LED燈的結構，LED燈的發光角度及照明面積可調節，使得LED燈在較小的空間都可安裝使用，LED燈的光源利用率高，減少能源消耗。

但是，現有技術中僅能應用于普通照明領域，且，通過調節第一旋轉機構與第二旋轉機構的旋轉角度實現照明面積的調節，結構較為復雜。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于如何簡化調節機構。

本發明通過以下技術手段實現解決上述技術問題的：

本發明實施例提供了一種照明面積連續可調均勻照明系統，所述系統包括：依次沿光軸設置的激光光源、光棒、光斑調節鏡組、匯聚鏡組，其中，

所述光棒為長方體，且所述光棒的中軸線與光軸重合；

所述光斑調節鏡組包括：依次設置的第一透鏡以及第二透鏡，所述第一透鏡的入光面朝向光棒出光面，且該入光面的形狀為凸面或者平面；第一透鏡的出光面遠離激光光源設置，且該側面為凸面；第二透鏡的入光面朝向第一透鏡的出光面，且該入光面的形狀為凸面；第二透鏡的出光面朝向光斑調節鏡組的入光面設置，且該出光面的形狀為凸面；第二透鏡的出光面朝向匯聚鏡組設置；且所述第二透鏡沿光軸方向運動；

所述匯聚鏡組包括：串聯設置的第三透鏡、第四透鏡以及第五透鏡，其中，所述第三透鏡的入光面朝向所述第二透鏡的出光面，第三透鏡的出光面朝向第四透鏡的入光面，所述第四透鏡的出光面朝向第五透鏡的入光面設置；所述第三透鏡的入光面和出光面均為凹面，第四透鏡的入光面和出光面以及第五透鏡的入光面和出光面均為凸面；

還包括入光面朝向第五透鏡出光面的第六透鏡，所述第六透鏡的入光面為凹面，出光面為凸面；

第一透鏡為正透鏡，第二透鏡為正透鏡，第三透鏡為負透鏡，第四透鏡為正透鏡，第五透鏡為正透鏡，第六透鏡為正透鏡；

還包括入光面朝向第六透鏡出光面的第一反射鏡，所述第一反射鏡的反射面的法線與所述光軸存在非零夾角。