[發明專利]一種紫外寬光譜光刻鏡頭

有效

• 申請號: 202010413573.2
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111505912B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 李文靜;薛業保;章廣飛;王運鋼
• 申請（專利權）人: 安徽國芯智能裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 丁瑞瑞

本發明一種紫外寬光譜光刻鏡頭，其特征在于，鏡頭包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的紫外光源、第一鏡組、第二鏡組第三鏡組以及第四鏡組，紫外光源包括數字微反射鏡以及第一透鏡，第一透鏡為雙或平凸透鏡；第一鏡組包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的第一數量個正透鏡以及第二數量個負透鏡，且第一鏡組的組合焦距為正；第二鏡組包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的第三數量個正透鏡以及第四數量個負透鏡，且第二鏡組的組合焦距為正，第二鏡組中距離第一鏡組最近的透鏡可以沿光軸方向運動；第三鏡組包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的第五數量個正透鏡，且第三鏡組的組合焦距為正。應用本發明實施例，可以降低光刻成本。

技術領域

本發明涉及電路板光刻技術領域，具體涉及一種紫外寬光譜光刻鏡頭。

背景技術

目前，隨著對高密度線路板需求的不斷增加，傳統的PCB(Printed CircuitBoard，印刷電路板)接觸式曝光機已經不能滿足高密度的需求，需要經常更換掩膜，導致使用成本較高。因此，目前常用采用新的數字曝光機，但是，這種數字曝光機通常采用單一波長的紫外激光光源，該光源的中心波長為405nm，并且該光源匹配的是405nm專用的光刻鏡頭，這就需要用到專用干膜，而專用干膜的價格相比普通的干膜，成本要高出許多，因此，現有的數字光刻機存在光刻成本較高的技術問題。

為了解決上述問題，現有技術中申請號為201811635995.3的發明專利申請公開了提供了一種雙遠心投影光刻鏡頭，其設計合理，具有高遠心度、低畸變的特點，適用于長工作距離的場景,包括從物方至像方依次設置的前透鏡群組、光闌、后透鏡群組；所述前透鏡群組包括從物方至像方依次設置的：第一透鏡，具有正光焦度；第二透鏡，具有負光焦度；第三透鏡，具有正光焦度；第四透鏡，具有負光焦度；第五透鏡，具有負光焦度；所述后透鏡群組包括從物方至像方依次設置的：第六透鏡，具有負光焦度；第七透鏡，具有正光焦度；第八透鏡，具有正光焦度；第九透鏡；第十透鏡，具有正光焦度；第十一透鏡，負光焦度。

但是，現有的PCB光刻技術使用的激光工作波長一般是405nm，需要用到專用干膜，使用的鏡頭也是單一波長的鏡頭，并不能解決現有技術使用成本較高的問題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于如何降低光刻成本。

本發明通過以下技術手段實現解決上述技術問題的：

本發明實施例提供了一種紫外寬光譜光刻鏡頭，所述鏡頭包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的紫外光源、第一鏡組、第二鏡組第三鏡組以及第四鏡組，其中，

紫外光源發射紫外光，以使紫外光照射在第一鏡組的入光面上，所述紫外光源包括數字微反射鏡以及第一透鏡，所述第一透鏡為雙凸透鏡或平凸透鏡；

所述第一鏡組包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的第一數量個正透鏡以及第二數量個負透鏡，且第一鏡組的組合焦距為正，其中，所述第一數量包括：四，第二數量包括：二；

所述第二鏡組包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的第三數量個正透鏡以及第四數量個負透鏡，且第二鏡組的組合焦距為正，第二鏡組中距離第一鏡組最近的透鏡可以沿光軸方向運動，其中，所述第三數量包括：三，第四數量包括：二；

所述第三鏡組包括：沿紫外光源到目標的順序依次設置的第五數量個正透鏡，且第三鏡組的組合焦距為正，其中，所述第五數量包括：二。

本發明的目的是提供一種數字光刻用紫外寬光譜的鏡頭，可以覆蓋360nm-410nm波長范圍，符合普通干膜的光譜響應范圍，因此更換光源，配合本發明實施例的寬光譜鏡頭，即可實現對普通干膜的刻蝕，不需要使用專用的干膜，因此，可以極大的降低生產成本。

可選的，所述第一透鏡的物面側曲率半徑為：90mm≤R≤∞，所述第一透鏡的像面側曲率半徑為：90mm≤R≤∞，其中，所述R為曲率半徑。