[發(fā)明專(zhuān)利]生成電路版圖圖案的方法、設(shè)備和計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010413097.4
• 申請(qǐng)日: 2020-05-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111611761B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 請(qǐng)求不公布姓名
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 全芯智造技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06F30/392
• 分類(lèi)號(hào): G06F30/392;G06F30/398
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 黃倩

1.一種生成電路版圖圖案的方法，包括：

獲得與電路版圖中的一個(gè)或多個(gè)圖案有關(guān)的圖案信息；

通過(guò)改變由所述圖案信息指示的所述一個(gè)或多個(gè)圖案，生成一組候選圖案；以及

基于所述一組候選圖案和圖案選擇條件，生成關(guān)鍵圖案集，所述圖案選擇條件限定具有潛在缺陷的圖案類(lèi)型；

其中所述圖案選擇條件包括第一條件和第二條件，并且針對(duì)所述圖案類(lèi)型，所述第二條件限定比所述第一條件強(qiáng)的約束；

其中生成所述關(guān)鍵圖案集包括：

確定所述一組候選圖案中滿(mǎn)足所述第一條件的至少一個(gè)候選圖案；

確定所述至少一個(gè)候選圖案是否滿(mǎn)足所述第二條件；

如果確定所述至少一個(gè)候選圖案滿(mǎn)足所述第二條件，將所述至少一個(gè)候選圖案添加至所述關(guān)鍵圖案集。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

如果確定所述至少一個(gè)候選圖案不滿(mǎn)足所述第二條件，通過(guò)改變所述至少一個(gè)候選圖案，生成一組另外的候選圖案。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

基于所述關(guān)鍵圖案集中的至少一個(gè)圖案，更新所述第一條件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述圖案選擇條件包括與所述圖案類(lèi)型相對(duì)應(yīng)的參考圖案和相似度閾值，并且所述關(guān)鍵圖案集中的圖案與所述參考圖案的相似度超過(guò)所述相似度閾值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述圖案選擇條件包括以下至少一項(xiàng)：

構(gòu)成所述圖案類(lèi)型的多個(gè)幾何圖形的尺寸，

構(gòu)成所述圖案類(lèi)型的多個(gè)幾何圖形的相對(duì)位置，或

構(gòu)成所述圖案類(lèi)型的多個(gè)幾何圖形的分布密度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述圖案信息包括參考電路版圖，并且其中生成一組候選圖案包括：

從所述參考電路版圖中確定包括至少一個(gè)幾何圖形的圖案；以及

通過(guò)改變所述至少一個(gè)幾何圖形的形狀和位置中的至少一項(xiàng)，生成所述一組候選圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中生成一組候選圖案包括：

基于所述圖案信息確定多個(gè)初始圖案，所述多個(gè)初始圖案中的每個(gè)初始圖案包括至少一個(gè)幾何圖形；以及

通過(guò)改變和組合所述多個(gè)初始圖案，生成所述一組候選圖案中的至少一個(gè)候選圖案。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中生成所述至少一個(gè)候選圖案包括：

改變所述多個(gè)初始圖案中的至少一個(gè)幾何圖形，以確定經(jīng)改變的初始圖案；以及

將所述經(jīng)改變的初始圖案組合成所述至少一個(gè)候選圖案。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中生成所述至少一個(gè)候選圖案包括：

將所述多個(gè)初始圖案組合成中間圖案，所述中間圖案包括基于所述至少一個(gè)幾何圖形確定的中間幾何圖形；以及

通過(guò)改變所述中間圖案中的所述中間幾何圖形，來(lái)確定所述至少一個(gè)候選圖案。

10.一種電子設(shè)備，包括：

處理器；以及

與所述處理器耦合的存儲(chǔ)器，所述存儲(chǔ)器具有存儲(chǔ)于其中的指令，所述指令在被處理器執(zhí)行時(shí)使所述設(shè)備執(zhí)行動(dòng)作，所述動(dòng)作包括：

獲得與電路版圖中的一個(gè)或多個(gè)圖案有關(guān)的圖案信息；

通過(guò)改變由所述圖案信息指示的所述一個(gè)或多個(gè)圖案，生成一組候選圖案；以及

基于所述一組候選圖案和圖案選擇條件，生成關(guān)鍵圖案集，所述圖案選擇條件限定具有潛在缺陷的圖案類(lèi)型；

其中所述圖案選擇條件包括第一條件和第二條件，并且針對(duì)所述圖案類(lèi)型，所述第二條件限定比所述第一條件強(qiáng)的約束；

其中生成所述關(guān)鍵圖案集包括：

確定所述一組候選圖案中滿(mǎn)足所述第一條件的至少一個(gè)候選圖案；

確定所述至少一個(gè)候選圖案是否滿(mǎn)足所述第二條件；

如果確定所述至少一個(gè)候選圖案滿(mǎn)足所述第二條件，將所述至少一個(gè)候選圖案添加至所述關(guān)鍵圖案集。

11.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，所述程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的方法。