[發明專利]一種用于全芯片光源掩模聯合優化關鍵圖形篩選的掩模圖形頻譜包絡分割方法

有效

• 申請號: 202010412950.0
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111415362B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 廖陸峰;李思坤;王向朝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G06T7/11
• 分類號: G06T7/11;G06T7/181
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種用于全芯片光源掩模聯合優化關鍵圖形篩選的掩模圖形頻譜包絡分割方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1.讀取掩模圖形頻譜的強度值矩陣；

步驟2.從強度值矩陣中尋找8鄰域極大值點；

步驟3.建立極大值點位置列表，記錄極大值點在強度值矩陣中的位置；

步驟4.判斷極大值點位置列表是否為空，如果是，則結束；否則，進入步驟5；

步驟5.提取極大值點位置列表的首個元素；

步驟6.采用包絡生長法尋找強度值矩陣中屬于當前包絡的點及邊界點，具體步驟是：

步驟6.1將強度值矩陣中極大值點位置列表的首個元素及其8鄰域的點標記為當前包絡的點；

步驟6.2建立記錄步驟6.1中8鄰域點位置的種子列表；

步驟6.3判斷種子列表是否為空，如是，則結束，否則，進入步驟6.4；

步驟6.4提取種子列表首個元素，即種子1；

步驟6.5判斷強度值矩陣中種子1的點的強度值是否為0，如是，則進入步驟6.14，否則，進入步驟6.6；

步驟6.6建立4鄰域列表記錄種子1在強度值矩陣的4鄰域點的位置；

步驟6.7建立未標記點列表記錄4鄰域列表中尚未標記為當前包絡的位置，比較強度值矩陣中這些位置的強度值和種子1的點的強度值，如果這些位置中存在強度值小于等于種子1的強度值的非零點，則進入步驟6.8；如果這些位置中存在強度值為零的點，則進入步驟6.11；如果這些位置中存在強度值大于種子1的強度值的點，則進入步驟6.14；

步驟6.8找出未標記點列表中強度值小于等于種子1的強度值的非零點，并建立新種子列表記錄這些點的位置；

步驟6.9將強度值矩陣中新種子列表的點標記為當前包絡的點；

步驟6.10將新種子列表加入到種子列表末尾；

步驟6.11找出未標記點列表中強度值為0的點，建立零值點列表記錄相應的點的位置；

步驟6.12將強度值矩陣中零值點列表的點標記為當前包絡的點；

步驟6.13將強度值矩陣中零值點列表的點標記為邊界點；

步驟6.14將種子1的位置標記為邊界點；

步驟6.15將種子1從種子列表中移除；

重復步驟6.4至6.15，直到種子列表為空；

步驟7.將極大值點位置列表的首個元素從極大值點位置列表中移除；

重復步驟4至7，直到極大值點位置列表為空。