[發明專利]一種環保型單晶硅制絨添加劑及其制備工藝，單晶硅制絨液以及制絨方法

在審

• 申請號: 202010408506.1
• 申請日: 2020-05-14
• 公開（公告）號: CN111647951A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 李然;范云堂;程寒松;閆緩
• 申請（專利權）人: 杭州聚力氫能科技有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 浙江杭知橋律師事務所 33256
• 代理人: 劉韻遙

1.一種環保型單晶硅制絨添加劑，其特征在于：該添加劑按照重量百分比計包括：木質素磺酸鈉0.01-0.5％，聚丙烯酸0.02-1.2％，亞甲基雙萘磺酸鈉0.0001-0.01％，聚乙二醇0.001-0.01％，L-半胱氨酸0.01-2％，水96-99％。

2.根據權利要求1所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述的聚丙烯酸的數均分子量約為1000-10000，聚乙二醇的數均分子量約為200-1000。

3.根據權利要求3所述的單晶硅制絨添加劑，其特征在于，所述的制絨添加劑的PH值為6-8。

4.一種環保型單晶硅制絨添加劑的制備工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟(1)：按重量稱取權利要求1-4中任意一項所述的原料；

步驟(2)：將稱取的木質素磺酸鈉加入水中進行溶解，得到A組份；

步驟(3)：將稱取的聚丙烯酸加入水中進行溶解，得到B組份；

步驟(4)：將稱取的亞甲基雙萘磺酸鈉加入水中進行溶解，得到C組份；

步驟(5)：將稱取的聚乙二醇加入水中進行溶解，得到D組份；

步驟(6)：將稱取的L-半胱氨酸置于三口燒瓶中，依次加入A、B、C、D四種組份，最后加水進行定量，在20-30℃、800-1500r/min的條件下攪拌30-60min，過濾后即可得到制絨添加劑。

5.單晶硅制絨液，其特征在于：將權利要求4制得的制絨添加劑加入到1％-2％的氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液中，混合均勻即得。

6.根據權利要求5所述的單晶硅制絨液，其特征在于：制絨添加劑與堿溶液的質量比為(1-5):100。

7.根據權利要求5或6所述的單晶硅制絨液，其特征在于：氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液的濃度為1.5％，制絨添加劑和堿液的混合溫度為20-80℃，制絨添加劑與堿溶液的質量比為1:100。

8.單晶硅表面制絨的方法，包括以下步驟：

步驟(1)：將單晶硅片預先處理；

步驟(2)：將預處理后的單晶硅片浸入權利要求6制得的制絨液中進行制絨，制絨溫度為70-90℃，制絨時間為300-1200s。

9.根據權利要求8所述的單晶硅表面制絨的方法，其特征在于：步驟(1)中的預處理過程為：第一步，將單晶硅片放入無水乙醇中超聲8-18分鐘，用去離子水清洗干凈；第二步，將單晶硅片放入丙醇中超聲8-18分鐘，用去離子水清洗干凈；第三步，將單晶硅片放入異丙醇中超聲8-18分鐘，用去離子水清洗干凈。

10.根據權利要求8所述的單晶硅表面制絨的方法，其特征在于：步驟(2)中的制絨溫度為79-82℃，制絨時間為900-1200s。