[發明專利]適用于激光在線測厚的振動補償方法有效
| 申請號： | 202010380375.0 | 申請日： | 2020-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN111504206B | 公開（公告）日： | 2021-08-03 |
| 發明（設計）人： | 周華民;宋華雄;楊志明;張云;周軍;王云明 | 申請（專利權）人： | 深圳市信宇人科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市金筆知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人： | 胡清方;彭友華 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍崗區龍城街道回龍*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 適用于 激光 在線 振動 補償 方法 | ||
1.一種適用于激光在線測厚的振動補償方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1：運用激光在線測厚系統，在同一測量環境下，對待測帶材和高精度銅箔進行在線掃描測量；
步驟2：對得到的測厚數據進行頻譜分析，觀察數據頻率組成信息；
步驟3：對比分析待測帶材和銅箔頻譜的相似性，對數據進行處理，去除振動對在線掃描測厚的影響，實現測厚數據的振動補償和精度優化；
所述步驟3具體包括以下步驟：
3.1選擇起始頻率值a，終止頻率值b，利用余弦相似度計算公式計算待測帶材和銅箔在所選頻率區間內的余弦相似度C0，余弦相似度計算公式為：
其中X、Y為帶材和銅箔的頻率點，n為帶寬即n＝b-a；
其中，所述起始頻率值a大于帶材厚度波動頻率值，終止頻率值b小于振動頻率的邊界值；
3.2將頻率區間向右擴展L，即起始頻率值a，終止頻率值b+L，利用余弦相似度計算公式計算待測帶材和銅箔在新的頻率區間內的余弦相似度C1，同時記錄對應的頻率區間；
3.3重復步驟3.2m次，每次計算的余弦相似度為Cm，直至終止頻率值b+mL到達振動頻率的所在范圍邊界fv；
3.4比較多次計算得到的余弦相似度C0～Cm，選擇C0.8的區間作為相似區間；
3.5設計濾波器，濾除步驟3.4所得頻率區間的信號，得到最終結果。
2.根據權利要求1所述的適用于激光在線測厚的振動補償方法，其特征在于，所述步驟1具體包括以下步驟：
1.1測厚系統初始化后，設置采樣頻率f、走帶速度Vr和掃描速度Vs；
1.2分別將待測帶材、銅箔置于測厚系統上，進行掃描厚度測量。
3.根據權利要求2所述的適用于激光在線測厚的振動補償方法，其特征在于，所述步驟1.2中待測帶材和銅箔測量過程在相同參數和環境下進行。
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