[發明專利]測量微小壓力的壓力傳感器及系統

在審

• 申請號: 202010375969.2
• 申請日: 2020-05-06
• 公開（公告）號: CN111442874A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 西安柯萊特信息科技有限公司
• 主分類號: G01L11/02
• 分類號: G01L11/02;G01L1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述壓力傳感器包括：光柵層、壓電材料層、手性金屬結構層和基底；所述光柵層包括多個光柵條，所述手性金屬結構層包括多個手性金屬單元，多個所述手性金屬單元周期設置在所述基底的一側，所述壓電材料層設置在多個所述手性金屬單元遠離基底的一側，多個所述光柵條周期設置在所述壓電材料遠離所述基底的一側，且平行于所述手性金屬結構層的任意一條邊，其中，多個所述光柵條和多個所述手性金屬單元的設置周期不同。

2.根據權利要求1所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述壓力傳感器還包括金屬顆粒，所述金屬顆粒設置在所述光柵層與所述壓電材料層之間。

3.根據權利要求1所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述壓力傳感器還包括金屬顆粒，所述金屬顆粒設置在所述壓電材料層與所述手性金屬結構層之間。

4.根據權利要求1所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述手性金屬單元的形狀可以為：E形、H形、G形和F形中任意一種。

5.根據權利要求1所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述壓電材料層的材料為透明壓電材料。

6.根據權利要求5所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述壓電材料層的材料為石英。

7.根據權利要求1所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，所述基底的材料為二氧化硅。

8.根據權利要求1所述的測量微小壓力的壓力傳感器，其特征在于，多個所述手性金屬單元的材料均為貴金屬。

9.一種測量微小壓力的壓力傳感系統，其特征在于，所述壓力傳感系統包括：光源、光譜儀和權利要求1-8任意一項所述的壓力傳感器，所述光源設置在所述光柵層遠離基底的一側，用于將光照射在所述光柵層上，所述光譜儀設置在所述基底原理所述光源的一側，用于接收并檢測出射光。