[發(fā)明專利]金剛石盤的監(jiān)控方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010364820.4
• 申請日: 2020-04-30
• 公開（公告）號: CN111515864B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁金娥;李松;張超逸;邢中豪
• 申請（專利權(quán)）人: 華虹半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B37/005;B24B49/00
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 羅雅文

1.一種金剛石盤的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，至少包括金剛石盤檢測傳感器、信號轉(zhuǎn)換模塊、金剛石盤信號采集電路、運(yùn)動控制器、中控系統(tǒng)、研磨盤調(diào)節(jié)器驅(qū)動系統(tǒng)；

所述金剛石盤檢測傳感器與所述信號轉(zhuǎn)換模塊連接，所述信號轉(zhuǎn)換模塊與所述金剛石盤信號采集電路連接，所述金剛石盤信號采集電路與運(yùn)動控制器連接、所述運(yùn)動控制器與所述中控系統(tǒng)、所述研磨盤調(diào)節(jié)器驅(qū)動系統(tǒng)分別連接；

所述金剛石盤檢測傳感器設(shè)置在研磨盤的外側(cè)且與金剛石盤的初始位置相鄰，所述金剛石盤上設(shè)置有檢測標(biāo)記；

所述中控系統(tǒng)內(nèi)存儲有研磨盤調(diào)節(jié)器的運(yùn)動控制指令、所述研磨盤調(diào)節(jié)器的工作流程、所述研磨盤調(diào)節(jié)器中研磨頭的標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)動軌跡；

所述中控系統(tǒng)，用于向運(yùn)動控制器發(fā)送運(yùn)動控制指令；

所述運(yùn)動控制器，用于將接收到的運(yùn)動控制指令發(fā)送至所述研磨盤調(diào)節(jié)器驅(qū)動系統(tǒng)；

所述研磨盤調(diào)節(jié)器驅(qū)動系統(tǒng)，用于根據(jù)所述運(yùn)動控制指令驅(qū)動研磨盤調(diào)節(jié)器運(yùn)行，所述研磨盤調(diào)節(jié)器用于帶動所述金剛石盤在所述研磨盤上運(yùn)動；

所述中控系統(tǒng)，用于根據(jù)所述研磨盤調(diào)節(jié)器的工作流程向所述金剛石盤檢測傳感器發(fā)送工作指令；

所述金剛石盤檢測傳感器，用于根據(jù)工作指令發(fā)射檢測信號，接收由所述金剛石盤反射回的反饋信號；將所述反饋信號發(fā)送至所述中控系統(tǒng)；所述反饋信號包括所述金剛石盤上檢測標(biāo)記對應(yīng)的目標(biāo)反饋信號和檢測標(biāo)記以外位置對應(yīng)的普通反饋信號；

所述中控系統(tǒng)，用于接收所述反饋信號，并根據(jù)所述反饋信號確定所述金剛石盤的運(yùn)行狀態(tài)信息，所述金剛石盤的運(yùn)行狀態(tài)信息包括所述金剛石盤的轉(zhuǎn)速、所述金剛石盤的位置；所述金剛石盤的位置包括金剛石盤的中心相對于研磨盤的中心距離，以及金剛石盤相對于金剛石盤檢測傳感器的高度；

所述中控系統(tǒng)，還用于根據(jù)所述反饋信號確定同一個所述金剛石盤檢測傳感器連續(xù)兩次檢測到所述金剛石盤上檢測標(biāo)記的時間差，根據(jù)所述時間差確定出所述金剛石盤的轉(zhuǎn)速；根據(jù)所述金剛石盤檢測傳感器發(fā)射檢測信號的時間與接收到反饋信號的時間差定位所述金剛石盤的位置，確定出金剛石盤中心相對于研磨盤中心的距離；根據(jù)設(shè)置的金剛石盤檢測傳感器陣列發(fā)送回的反饋信號，確定出所述金剛石盤相對于所述金剛石盤檢測傳感器的高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石盤的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，

所述中控系統(tǒng)，用于根據(jù)所述研磨盤調(diào)節(jié)器的工作流程確定所述研磨頭位于預(yù)設(shè)位置時，向金剛石盤檢測傳感器發(fā)送金剛石盤檢測傳感器的工作指令。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛石盤的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，

所述中控系統(tǒng)，用于根據(jù)所述研磨盤調(diào)節(jié)器的工作流程確定所述研磨頭位于預(yù)設(shè)位置時，向運(yùn)動控制器發(fā)送金剛石盤檢測傳感器的工作指令；

所述運(yùn)動控制器，用于接收并將所述金剛石盤檢測傳感器的工作指令發(fā)送至所述金剛石盤信號采集電路；

所述金剛石盤信號采集電路，用于通過所述信號轉(zhuǎn)換模塊向所述金剛石盤檢測傳感器發(fā)送工作指令；

所述金剛石盤檢測傳感器，用于通過所述信號轉(zhuǎn)換模塊將所述反饋信號發(fā)送至所述金剛石盤信號采集電路；

所述金剛石盤信號采集電路，用于接收并將所述反饋信號發(fā)送至所述運(yùn)動控制器系統(tǒng)；

所述運(yùn)動控制器系統(tǒng)，用于接收并將所述反饋信號發(fā)送至所述中控系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石盤的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述金剛石盤檢測傳感器，用于根據(jù)工作指令在預(yù)定時間內(nèi)持續(xù)發(fā)射光信號，接收由所述金剛石盤反射回的反饋光信號；

所述光信號為窄波段紅光信號。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石盤的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述金剛石盤檢測傳感器的外側(cè)設(shè)置有透明保護(hù)罩。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石盤的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述金剛石盤上設(shè)置的檢測標(biāo)記為凸起塊或凹槽或色斑塊。