[發明專利]一種音叉振蕩器的鍍膜方法及鍍膜音叉振蕩器

在審

• 申請號: 202010345289.6
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111575656A
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 邵杰權
• 申請（專利權）人: 深圳市科瀚電子有限公司;深圳市峰華電子有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/16;G04D3/00;G04F5/04;H03H3/02
• 代理公司: 深圳市徽正知識產權代理有限公司 44405
• 代理人: 郭振媛

1.一種音叉振蕩器的鍍膜方法，其特征在于，包括如下步驟：

將音叉振蕩器安裝在真空鍍膜機的蒸發槽內，對所述真空鍍膜機抽真空；

在真空環境下，通過電阻蒸發源加熱鉬舟在所述音叉振蕩器的基材表面蒸鍍鉻層；

在所述鉻層的上方蒸鍍鉻銅合金層；

在所述鉻銅合金層的上方蒸鍍銅銀合金層；

在所述銅銀合金層的上方蒸鍍銀層，完成所述音叉振蕩器基材表面的鍍膜。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鉻層的厚度為9.7-10.3nm。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鉻銅合金層的厚度為19.7-20.3nm。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述銅銀合金層的厚度為49.7-50.3nm。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述銀層的厚度為369.7-370.3nm。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在蒸鍍過程中，采用沉積速率蒸鍍。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：在蒸鍍完成之后，打開放氣閥和充氣閥，其中所述充氣閥充入的氣體為氮氣或惰性氣體。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在對所述真空鍍膜機抽真空之后，所述方法還包括：通過離子烘機烘烤所述真空鍍膜機。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，烘烤溫度為126-134度，烘烤時間為10分鐘。

10.一種鍍膜音叉振蕩器，其特征在于所述鍍膜音叉振蕩器使用權利要求1-9任一項所述方法制備得到。