[發(fā)明專(zhuān)利]一種離子束誘導(dǎo)的液膜圖案化印刷方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010340913.3
• 申請(qǐng)日: 2020-04-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111646425B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昊;孟凱鑫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B81C1/00
• 分類(lèi)號(hào): B81C1/00;B81B7/00
• 代理公司: 北京潤(rùn)澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319
• 代理人: 茍冬梅

1.一種離子束誘導(dǎo)的液膜圖案化印刷方法，其特征在于，所述方法包括：

準(zhǔn)備固體基片和液體樣品；

在固體基片的表面滴加液體樣品的液滴形成液池；

在圖形發(fā)生器上創(chuàng)建圖案，根據(jù)所創(chuàng)建的圖案設(shè)置圖案的幾何參數(shù)以及離子束的參數(shù)；

利用離子束對(duì)所述液池進(jìn)行輻照，基于離子束與液池中的液體分子的相互作用和離子束與固體基片之間的相互作用，離子束驅(qū)動(dòng)液池中的液體流動(dòng)，以在固體基片上印刷出所創(chuàng)建的圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述離子束為氦離子束、鎵離子束或者電子束中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述離子束為氦離子束時(shí)，所述離子束的注入劑量在0.3pC/μm²以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述液體樣品為：1-乙基-3-甲基咪唑二氰胺鹽或者1-乙基-3甲基咪唑四氟硼酸鹽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述固體基片為：二氧化硅固體基片、銅片或者金片中的一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述固體基片為二氧化硅固體基片時(shí)，所述準(zhǔn)備固體基片包括：

準(zhǔn)備一個(gè)二氧化硅固體基片；

在超聲清洗機(jī)中先后用丙酮、酒精、去離子水依次清洗所述二氧化硅固體基片10分鐘；

用氮?dú)獯等ニ龆趸韫腆w基片表面的水分。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述在固體基片的表面滴加液體樣品的液滴形成液池，包括：

用微量進(jìn)樣器在固體基片的表面滴一滴液體樣品的液滴，所述液滴即為液池；

或者，在固體基片的表面設(shè)置容器，將液體樣品滴加到所述容器中形成液池。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述離子束的參數(shù)包括：離子束的加速電壓、離子束的束流、離子束的注入持續(xù)時(shí)間、離子束的束斑陣列、離子束的束斑間距。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，根據(jù)所創(chuàng)建的圖案設(shè)置圖案的幾何參數(shù)以及離子束的參數(shù)，包括：

根據(jù)所創(chuàng)建的圖案設(shè)置圖案的幾何參數(shù)，包括長(zhǎng)、寬、高、半徑中的一種或多種；

設(shè)置離子束的加速電壓、離子束的束流；

根據(jù)所創(chuàng)建的圖案的形狀設(shè)置離子束的注入持續(xù)時(shí)間、離子束的束斑陣列和離子束的束斑間距。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述離子束對(duì)所述液池進(jìn)行輻照包括：離子束垂直于液池的邊緣進(jìn)行輻照。