[發明專利]一種聲表面波固態電場傳感器

有效

• 申請號: 202010332523.1
• 申請日: 2020-04-24
• 公開（公告）號: CN111650447B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 謝立強;邢建春;劉智榮;張海濤;楊啟亮;朱敏;包文歧
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍陸軍工程大學
• 主分類號: G01R29/14
• 分類號: G01R29/14
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 朱遠楓

1.一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，包括聲表面波延遲線和敏感電極，所述聲表面波延遲線包括襯底、壓電元件、叉指換能器和感測區反射柵；

所述壓電元件布置于所述襯底上表面；所述敏感電極布置在壓電元件上表面形成感測區，所述壓電元件上表面還制備有叉指換能器和感測區反射柵，所述叉指換能器和感測區反射柵相對設置在所述感測區的兩側，所述叉指換能器的電端口通過阻抗網絡連接到天線；所述壓電元件與所述敏感電極之間設置絕緣層。

2.根據權利要求1所述的一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，所述壓電元件位于感測區部分的下面也設置敏感電極，其與壓電元件位于感測區部分的上面設置的敏感電極位置相對應形成敏感電極對。

3.根據權利要求2所述的一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，所述壓電元件上方和下方設置有絕緣層，所述絕緣層位于所述敏感電極之間。

4.根據權利要求1~3任意一項權利要求所述的一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，所述聲表面波固態電場傳感器還包括布置于壓電元件上表面的補償區反射柵，所述補償區反射柵設置在與感測區反射柵相對的叉指換能器的另一側，所述補償區反射柵和所述叉指換能器之間形成環境補償區；所述壓電元件布置補償區反射柵、環境補償區和叉指換能器的部分的上方和下方均設置屏蔽電極，所述屏蔽電極通過外電路進行短路連接。

5.根據權利要求4所述的一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，所述壓電元件上方和下方設置有絕緣層，所述絕緣層位于所述屏蔽電極之間。

6.根據權利要求4所述的一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，所述補償區反射柵與叉指換能器之間的距離與感測區反射柵

和叉指換能器之間的距離不同。

7.根據權利要求1所述的一種聲表面波固態電場傳感器，其特征在于，所述壓電元件為壓電薄膜或壓電基片。