[發明專利]濺射裝置在審
| 申請號： | 202010323404.X | 申請日： | 2020-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN111826630A | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 村上尚史;吉良隆一;神丸剛 | 申請（專利權）人： | 日東電工株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種濺射裝置，其具有：
成膜輥，該成膜輥沿周向輸送膜；以及
多個成膜室，該多個成膜室沿著所述成膜輥的周向配置，
該濺射裝置的特征在于，
所述多個成膜室均具有：
靶單元，該靶單元與所述成膜輥隔有間隔地相對配置；以及
壁部，該壁部劃分出所述成膜室，
在所述壁部設有排氣部，
在與所述成膜輥的軸向正交的剖視圖中，在經過所述成膜輥的中心和所述排氣部的中心的第1假想線上配置有所述靶單元。
2.根據權利要求1所述的濺射裝置，其特征在于，
所述壁部具有：
排氣壁，在該排氣壁設有所述排氣部；以及
兩個分隔壁，該兩個分隔壁從所述排氣壁朝向所述成膜輥地沿徑向延伸，彼此隔有間隔地配置，
所述排氣壁相對于所述第1假想線對稱。
3.根據權利要求2所述的濺射裝置，其特征在于，
所述兩個分隔壁相對于所述第1假想線對稱。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的濺射裝置，其特征在于，
所述壁部還具有將所述排氣壁和所述分隔壁連結起來的連結壁，
所述連結壁相對于經過所述成膜室的在所述軸向上的中心的第2假想線對稱。
5.根據權利要求1～3中任一項所述的濺射裝置，其特征在于，
在所述多個成膜室均設有與所述排氣部相連結的泵。
6.根據權利要求1～3中任一項所述的濺射裝置，其特征在于，
所述排氣部相對于經過所述成膜室的在所述軸向上的中心的第2假想線對稱。
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