[發明專利]金屬被膜的成膜裝置

有效

• 申請號: 202010319988.3
• 申請日: 2020-04-22
• 公開（公告）號: CN111850659B
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 佐藤祐規
• 申請（專利權）人: 豐田自動車株式會社
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D17/02
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 陳冠欽

本發明涉及金屬被膜的成膜裝置。提供一種金屬被膜的成膜裝置，其能夠通過將各電解質膜均勻地壓靠于基材的表面，從而將金屬被膜在被各電解質膜壓靠的基材的表面均勻地成膜。成膜裝置(1)具備壓靠裝置(20)以及在陽極(11A、11B)和基材(SA、SB)之間施加電壓的電源部(16A、16B)，該壓靠裝置(20)具有第一和第二成膜單元(10A、10B)、將第一和第二成膜單元(10A、10B)連結的連結部(21)、以及經由連結部(21)用各成膜單元(10A、10B)的電解質膜(13A、13B)壓靠基材(SA、SB)的壓靠部(24)。成膜單元(10A、10B)中，每個成膜單元(10A、10B)經由在壓靠部(24)的壓靠方向上發生彈性變形的第一彈性體(30A、30B)與連結部(21)連結。

技術領域

本發明涉及將金屬被膜在基材的表面成膜的成膜裝置。

背景技術

迄今為止，有時使金屬在基材的表面析出(將金屬離子還原)以將金屬被膜成膜。例如，在專利文獻1中，提出了一種成膜裝置，其具備：陽極、配置在陽極和成為陰極的基材之間的電解質膜、在陽極和電解質膜之間容納包含金屬離子的金屬溶液的液體容納部、以及在陽極和基材之間施加電壓的電源部。成膜裝置進一步具備將電解質膜壓靠于基材的壓靠裝置，液體容納部經由在壓靠裝置的壓靠方向可彈性變形的彈性體而安裝于壓靠裝置。

在該成膜裝置中，在將電解質膜壓靠于基材時，彈性體在基材的壓靠方向彈性變形，利用彈性變形了的彈性體的復原力，能夠用電解質膜壓靠基材的表面。此時，由于從基材向電解質膜作用的反作用力，液體容納部內的金屬溶液的液壓增壓。其結果，由于所增壓的金屬溶液的液壓，能夠用電解質膜均勻地壓靠基材的表面。在該壓靠狀態下在陽極和基材之間施加電壓以將電解質膜的內部所含有的金屬離子還原，從而能夠將均勻的金屬被膜在基材的表面成膜。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2017-88918號公報

發明內容

發明所要解決的課題

但是，在專利文獻1涉及的成膜裝置中，例如在使用多個電解質膜在基材的多個部位將金屬被膜同時地成膜時，有時不能用各電解質膜均勻地壓靠基材的表面。特別地，在壓靠前各電解質膜與基材的表面的距離不同的情況下，這種現象變得顯著。其結果，有時不能在與各電解質膜接觸的基材的表面將金屬被膜均勻地成膜。

本發明是鑒于上述方面而完成的，課題在于，提供一種金屬被膜的成膜裝置，其通過將各電解質膜均勻地壓靠于基材的表面，從而能夠在被各電解質膜壓靠的基材的表面將金屬被膜均勻地成膜。

用于解決課題的手段

鑒于上述課題，本發明涉及的金屬被膜的成膜裝置其是通過將金屬離子還原從而將金屬被膜在基材的表面成膜的成膜裝置，其特征在于，上述成膜裝置具備多個成膜單元、壓靠裝置和電源部，該成膜單元具有陽極、配置在上述陽極和上述基材之間的電解質膜、以及安裝有上述電解質膜、以包含上述金屬離子的金屬溶液與上述電解質膜接觸的方式將上述金屬溶液在密封的狀態下容納的液體容納部，該壓靠裝置具有將上述各成膜單元連結的連結部、和經由上述連結部用上述各成膜單元的上述電解質膜壓靠上述基材的壓靠部，該電源部在上述各成膜單元的上述電解質膜與上述基材接觸的狀態下，在上述陽極和上述基材之間施加電壓，使得來自上述電解質膜所含浸的上述金屬離子的金屬在上述基材的表面析出；就上述成膜單元而言，上述成膜單元的每個經由在上述壓靠部的壓靠方向上發生彈性變形的第一彈性體與上述連結部連結。