[發明專利]一種基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法

有效

• 申請號: 202010318184.1
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN112393882B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 郭鑫民;楊振;張建隆;張建軍;高金紅;高清京
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206
• 代理人: 高媛

1.一種基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述方法包括如下步驟：

步驟一、復眼透鏡矩陣的單透鏡面型參數檢測：

調節復眼透鏡矩陣至紅外顯微物鏡的距離依次篩分并檢測出相對應的單透鏡的像點形態參數；

步驟二、靶標透鏡的光刻參數補償：

根據單透鏡的焦距值計算對應靶標的加工尺寸，根據單透鏡的像面位置坐標確定對應靶標的加工坐標，根據光軸偏斜量確定靶標形態，并據此開展膠片的光刻加工；

步驟三、復眼透鏡與靶標的校裝：

在靶標和復眼透鏡陣列上標記確定基準，以基準相互定位，實現單透鏡與相應補償靶標的粗對準，再通過高分辨率二維調整機構進行微對準，保證單透鏡光軸與靶標‘F’字中心的高精度對應。

2.根據權利要求1所述的基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述像點形態參數包括單透鏡的像點坐標、單透鏡的光軸偏斜量、單透鏡的光軸偏移量和單透鏡焦距。

3.根據權利要求1所述的基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述復眼透鏡陣列由數個單透鏡呈矩形陣列形式組合構成。

4.根據權利要求1所述的基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述復眼透鏡陣列的厚度為2mm，每個單透鏡的直徑為3mm。

5.根據權利要求1、3或4所述的基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述單透鏡為圓形非球面結構。

6.根據權利要求1所述的基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述復眼透鏡的單透鏡面型參數檢測由復眼透鏡陣列、高精度線性移動平臺、紅外顯微物鏡、探測器、紅外平行光管和計算機構成的單透鏡面型檢測系統完成，所述復眼透鏡陣列通過工裝件固定于實驗臺上，紅外顯微物鏡通過工裝件固定于高精度線性移動平臺上，高精度線性移動平臺與實驗臺相對靜止，紅外平行光管的光軸、復眼透鏡陣列的中心光軸、紅外顯微物鏡的光軸、探測器的鏡頭光軸重合，探測器的探測窗口正對紅外顯微物鏡，通過紅外平行光管的光學窗口射出的紅外光依次通過復眼透鏡陣列、紅外顯微物鏡、探測器的鏡頭。

7.根據權利要求1所述的基于顯微成像微透鏡參數檢測的復眼成像調校方法，其特征在于所述復眼透鏡與靶標的校裝由光源與靶標組件、復眼透鏡陣列、高精度線性移動平臺、探測器和計算機構成的復眼透鏡與靶標的校裝系統實現，所述光源與靶標組件通過工裝件固定于高精度線性移動平臺的臺體上，復眼透鏡矩陣通過工裝件固定于高精度線性移動平臺的載物平臺上，光源與靶標組件的紅外窗口對照復眼透鏡陣列，光源與靶標組件的中心光軸、復眼透鏡陣列的中心光軸和探測器的鏡頭光軸重合，探測器的探測窗口正對復眼透鏡陣列，通過光源與靶標組件的光學窗口射出的紅外光依次通過復眼透鏡陣列、探測器的鏡頭。