[發明專利]一種半導體的轉移裝置及轉移方法

有效

• 申請號: 202010317744.1
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN113451190B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發明（設計）人: 魏其源;王英琪;劉政明;林建宏;龔立偉
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683;H01L33/62
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 徐凱凱;王永文

1.一種半導體的轉移裝置，其特征在于，包括：轉移基板，設置在所述轉移基板上的控制器、設置在所述轉移基板上且與所述控制器電連接的第一電磁部、設置在所述第一電磁部的表面且與所述控制器電連接的紅外發射部以及活動設置在所述第一電磁部內且用于拾取半導體的第二磁部；其中，所述半導體攜帶有磁性；

所述轉移基板用于移動至目標基板上方；

所述紅外發射部用于發射紅外信號對目標基板上的半導體進行定位；

所述控制器用于輸出第一控制電流至所述第一電磁部，以使所述第一電磁部產生電磁力，以控制所述第二磁部調節所拾取的半導體在目標基板上的焊接位置，其中，所述調節所拾取的半導體在目標基板上的焊接位置包括水平方向的調節；

所述第一電磁部包括活動設置在所述轉移基板上的多塊第一電磁擋板，各個第一電磁擋板均與所述控制器電連接，且相鄰的所述第一電磁擋板相互垂直，且各個第一電磁擋板至所述第二磁部的距離相等。

2.根據權利要求1所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述控制器還用于輸出第二控制電流至所述第二磁部，以使所述第二磁部拾取目標基板上的半導體或放置半導體至目標基板。

3.根據權利要求2所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述第二磁部包括設置在所述轉移基板上且與所述控制器電連接的驅動電磁擋板、與所述驅動電磁擋板磁力連接的吸附盤以及固定設置在所述吸附盤四周的第二磁擋板。

4.根據權利要求3所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述第一電磁擋板與所述第二磁擋板數量一致，且單個所述第一電磁擋板與單個所述第二磁擋板對應平行設置。

5.根據權利要求3所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述移動基板上設置有滑軌，所述第一電磁擋板和所述驅動電磁擋板設置有滑球，所述第一電磁擋板和所述驅動電磁擋板分別與所述移動基板滑動連接。

6.根據權利要求4所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述第一電磁擋板和驅動電磁擋板為電磁體，所述第二磁擋板為永磁體或電磁體。

7.根據權利要求1所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述紅外發射部包括紅外發射器，所述紅外發射器與所述第一電磁部可拆卸連接。

8.根據權利要求3所述的半導體的轉移裝置，其特征在于，所述吸附盤為磁體、吸盤或機械手。

9.一種半導體的轉移方法，其特征在于，包括：

控制轉移基板移動至目標基板上方；

紅外發射部發射紅外信號對目標基板上的半導體進行定位；

控制器輸出第一控制電流至第一電磁部，以使所述第一電磁部產生電磁力，以控制第二磁部調節所拾取的半導體在目標基板上的焊接位置，其中，所述調節所拾取的半導體在目標基板上的焊接位置包括水平方向的調節；

所述第一電磁部包括活動設置在所述轉移基板上的多塊第一電磁擋板，各個第一電磁擋板均與所述控制器電連接，且相鄰的所述第一電磁擋板相互垂直，且各個第一電磁擋板至所述第二磁部的距離相等。

10.根據權利要求9所述的半導體的轉移方法，其特征在于，所述控制器輸出第一控制電流至第一電磁部，以使所述第一電磁部產生電磁力，以控制第二磁部調節所拾取的半導體在目標基板上的焊接位置，其中，所述調節所拾取的半導體在目標基板上的焊接位置包括水平方向的調節還包括：控制器輸出第二控制電流至所述第二磁部，以使所述第二磁部拾取目標基板上的半導體或放置半導體至目標基板。