[發(fā)明專利]光掩模固持系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010316766.6
• 申請(qǐng)日: 2020-04-21
• 公開（公告）號(hào): CN112670219A
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莊家和;溫星閔;薛新民;李怡萱;邱銘乾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 家登精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 孫芬

1.一種光掩模固持系統(tǒng)，包含：

內(nèi)盒，包括

內(nèi)基座，組配來接收光掩模；

內(nèi)蓋，組配來耦合所述內(nèi)基座，從而形成用于收容所接收的所述光掩模的內(nèi)部；

壓銷，包括穿設(shè)于所述內(nèi)蓋并組配來按壓所接收的所述光掩模的壓抵部、與所述壓抵部相對(duì)的受壓部、以及比所述受壓部寬的肩部；

限位帽，設(shè)置在所述內(nèi)蓋上并組配來限制所述壓銷的運(yùn)動(dòng)，其中所述限位帽定義窗口，使得所述受壓部延伸穿設(shè)于所述窗口；及

第一彈性件，設(shè)置在所述限位帽和所述壓銷的所述肩部之間。

2.如權(quán)利要求1所述的光掩模固持系統(tǒng)，其特征在于，還包括第二彈性件，所述第二彈性件設(shè)置在所述肩部和所述內(nèi)蓋之間。

3.如權(quán)利要求1所述的光掩模固持系統(tǒng)，其特征在于，

所述第一彈性件具有圍繞所述壓銷的所述受壓部的環(huán)形結(jié)構(gòu)。

4.如權(quán)利要求1所述的光掩模固持系統(tǒng)，其特征在于，還包括

外盒，包括

外基座，組配來接收所述內(nèi)基座；

外蓋，組配來耦合所述外基座；及

推動(dòng)件，設(shè)置于所述外蓋，所述推動(dòng)件組配來在所述外蓋耦合所述外基座時(shí)，推動(dòng)所述壓銷以按壓所述光掩模；

其中，當(dāng)所述外蓋與所述外基座耦合時(shí)，所述限位帽的上表面和所述受壓部的上表面基本上共平面。

5.一種固持系統(tǒng)，包括：

內(nèi)盒，包含:

內(nèi)基座，組配來接收工件；

內(nèi)蓋，組配來耦合至所述內(nèi)基座，從而形成用以收容所述工件的內(nèi)部；

壓銷，可移動(dòng)地穿設(shè)于所述內(nèi)蓋，且組配來按壓所接收的所述工件；及

外盒，包含:

外基座，組配來接收所述內(nèi)基座；

外蓋，組配來耦合至所述外基座；及

推動(dòng)件，設(shè)置于所述外蓋；

其中，所述壓銷、所述外蓋、及所述推動(dòng)件具有電荷消散性質(zhì)；

其中，當(dāng)所述外蓋耦合至所述外基座，所述推動(dòng)件推動(dòng)所述壓銷來按壓所述工件，并且建立從所接收的所述工件，通過所述壓銷及所述推動(dòng)件，到所述外蓋的電荷消散路徑。

6.如權(quán)利要求5所述的固持系統(tǒng)，其特征在于，

其中，所述內(nèi)盒還包含支撐件，所述支撐件設(shè)置在所述內(nèi)基座并且組配來支撐所接收的所述工件；

其中，所述外盒還包含支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述外基座并且組配來支撐所述內(nèi)基座；

其中，所述支撐件及所述支撐結(jié)構(gòu)具有電荷消散性質(zhì)；

其中，當(dāng)所述外蓋耦合至所述外基座，所述支撐件接觸所接收的所述工件并且建立從所接收的所述工件，通過所述內(nèi)基座及所述支撐結(jié)構(gòu)，到所述外基座的電荷消散路徑。

7.如權(quán)利要求6所述的固持系統(tǒng)，其特征在于，

其中，所述支撐件、所述壓銷、及所述推動(dòng)件具有在大約10⁶到10¹¹歐姆之間的表面電阻值。

8.如權(quán)利要求6所述的固持系統(tǒng)，其特征在于，

其中，所述支撐件、所述壓銷、及所述推動(dòng)件具有小于10⁵歐姆的表面電阻值。

9.如權(quán)利要求6所述的固持系統(tǒng)，其特征在于，

其中，所述內(nèi)基座定義位于其底部表面的交界曲面；及

其中，所述支撐結(jié)構(gòu)具有交界曲面，基本上匹配于所述內(nèi)基座的交界曲面。

10.如權(quán)利要求5所述的固持系統(tǒng)，其特征在于，

其中，所述壓銷具有面對(duì)所述推動(dòng)件的受壓面；

其中，所述內(nèi)盒更包含準(zhǔn)位蓋，所述準(zhǔn)位蓋設(shè)置于所述內(nèi)蓋并且組配來限制所述壓銷的運(yùn)動(dòng)，其中所述準(zhǔn)位蓋定義了暴露所述壓銷的所述受壓面的窗口；及

其中，所述受壓面的一個(gè)被所述窗口暴露的部分的一個(gè)投影面積的一個(gè)寬度，小于所述推動(dòng)件的一個(gè)投影面積的一個(gè)寬度。