[發(fā)明專利]SAW濾波器的制造方法和SAW濾波器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010315329.2
• 申請(qǐng)日: 2020-04-21
• 公開（公告）號(hào): CN111835313A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 阿畠潤(rùn);能丸圭司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H03H9/64
• 分類號(hào): H03H9/64;H03H3/10
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種SAW濾波器的制造方法，由壓電體基板制造SAW濾波器，該壓電體基板在正面上設(shè)定有分割預(yù)定線且在由該分割預(yù)定線劃分的區(qū)域內(nèi)具有包含梳型電極的器件，其特征在于，

該SAW濾波器的制造方法具有如下的步驟：

構(gòu)造物形成步驟，從該壓電體基板的背面?zhèn)日丈鋵?duì)于該壓電體基板具有吸收性的波長(zhǎng)的激光束，在該壓電體基板的背面?zhèn)刃纬删哂邪纪沟臉?gòu)造物；以及

分割步驟，在該構(gòu)造物形成步驟之后，沿著該分割預(yù)定線將該壓電體基板分割，

關(guān)于通過該構(gòu)造物形成步驟而形成的具有凹凸的構(gòu)造物，從凸部的頂點(diǎn)至凹部的底面為止的距離被設(shè)定為1μm以上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SAW濾波器的制造方法，其特征在于，

在該構(gòu)造物形成步驟中，

按照在包含分割后的器件的背面?zhèn)鹊耐庵芫壊吭趦?nèi)的規(guī)定的區(qū)域內(nèi)不形成具有凹凸的構(gòu)造物的方式，對(duì)該壓電體基板的除了包含與分割預(yù)定線對(duì)應(yīng)的區(qū)域在內(nèi)的規(guī)定的區(qū)域以外的區(qū)域照射該激光束。

3.一種SAW濾波器，其在壓電體基板的正面上具有梳型電極，其特征在于，

在該壓電體基板的背面?zhèn)刃纬捎芯哂邪纪沟臉?gòu)造物，

該具有凹凸的構(gòu)造物的從凸部的頂點(diǎn)至凹部的底面為止的距離為1μm以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的SAW濾波器，其特征在于，

該具有凹凸的構(gòu)造物形成于該壓電體基板的背面?zhèn)鹊某税庵芫壊吭趦?nèi)的規(guī)定的區(qū)域以外的區(qū)域。