[發(fā)明專利]搬運(yùn)系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010310506.8
• 申請(qǐng)日: 2020-04-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111834269A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 關(guān)家一馬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

提供搬運(yùn)系統(tǒng)，其構(gòu)建容易。搬運(yùn)系統(tǒng)對(duì)多個(gè)加工裝置分別搬運(yùn)被加工物，其包含：搬運(yùn)通路，其在多個(gè)加工裝置的整個(gè)范圍內(nèi)設(shè)置于加工裝置的正上方的空間；無(wú)人搬運(yùn)車，其在搬運(yùn)通路上行駛，具有收納部、行駛部、行駛機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)以及接收機(jī)(其接收控制信號(hào))，其中，收納部具有對(duì)被加工物進(jìn)行收納的收納空間，行駛部具有對(duì)收納部進(jìn)行儲(chǔ)存的儲(chǔ)存空間，行駛機(jī)構(gòu)設(shè)置于行駛部，升降機(jī)構(gòu)配置于行駛部，從上方懸吊收納部而使其升降，接收機(jī)接收控制信號(hào)；貯存單元，其具有在從收納有被加工物的被加工物貯存器向無(wú)人搬運(yùn)車的收納部交接被加工物時(shí)對(duì)收納部進(jìn)行保持的收納部保持臺(tái)以及接收控制信號(hào)的接收機(jī)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)，其對(duì)加工裝置搬運(yùn)被加工物。

背景技術(shù)

在組裝于電子設(shè)備等的器件芯片的制造工序中，通過(guò)各種加工裝置對(duì)半導(dǎo)體晶片或樹(shù)脂封裝基板為代表的板狀的被加工物進(jìn)行加工。在對(duì)該加工裝置搬運(yùn)被加工物時(shí)，通常使用能夠收納多個(gè)被加工物的搬運(yùn)用的盒。

但是，在將多個(gè)被加工物收納在盒中而一次搬運(yùn)至加工裝置的上述方法中，當(dāng)由于某些原因而使加工裝置停止時(shí)，會(huì)使收納在盒中的未加工的被加工物一律待機(jī)。即，也無(wú)法利用其他加工裝置對(duì)未加工的被加工物進(jìn)行加工，因此加工的效率大幅降低。

要想克服該問(wèn)題，例如只要根據(jù)加工裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況而將被加工物一張一張地搬運(yùn)至加工裝置即可。因此，提出了如下的搬運(yùn)系統(tǒng)：通過(guò)搬運(yùn)用的路徑來(lái)連接多個(gè)加工裝置，從而能夠在任意的時(shí)機(jī)對(duì)各加工裝置搬運(yùn)被加工物(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平6-177244號(hào)公報(bào)

但是，在各加工裝置的側(cè)面設(shè)置有連接配管的配管連接部或維護(hù)用的門等，在構(gòu)建上述的搬運(yùn)系統(tǒng)時(shí)，需要按照不與它們發(fā)生干涉的方式設(shè)計(jì)搬運(yùn)用的路徑。因此，搬運(yùn)系統(tǒng)的構(gòu)建未必容易，并且搬運(yùn)用的路徑也容易變長(zhǎng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于該問(wèn)題點(diǎn)而完成的，其目的在于提供搬運(yùn)系統(tǒng)，其能夠?qū)Χ鄠€(gè)加工裝置分別搬運(yùn)被加工物，并且容易構(gòu)建。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供搬運(yùn)系統(tǒng)，其對(duì)多個(gè)加工裝置分別搬運(yùn)被加工物，其中，該搬運(yùn)系統(tǒng)包含：搬運(yùn)通路，其在多個(gè)該加工裝置的整個(gè)范圍內(nèi)設(shè)置于該加工裝置的正上方的空間；無(wú)人搬運(yùn)車，其在該搬運(yùn)通路上行駛，具有收納部、行駛部、行駛機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)以及接收機(jī)，其中，該收納部具有對(duì)該被加工物進(jìn)行收納的收納空間，該行駛部具有對(duì)該收納部進(jìn)行儲(chǔ)存的儲(chǔ)存空間，該行駛機(jī)構(gòu)設(shè)置于該行駛部，該升降機(jī)構(gòu)配設(shè)于該行駛部，從上方懸吊該收納部而使該收納部升降，該無(wú)人搬運(yùn)車的該接收機(jī)接收控制信號(hào)；

貯存單元，其具有收納部保持臺(tái)和接收機(jī)，其中，該收納部保持臺(tái)在從收納有該被加工物的被加工物貯存器向該無(wú)人搬運(yùn)車的該收納部交接該被加工物時(shí)對(duì)該收納部進(jìn)行保持，該貯存單元的該接收機(jī)接收控制信號(hào)；以及

控制單元，其具有發(fā)送機(jī)、接收機(jī)以及控制信號(hào)生成部，其中，該發(fā)送機(jī)對(duì)該加工裝置、該無(wú)人搬運(yùn)車以及該貯存單元發(fā)送控制信號(hào)，該控制單元的該接收機(jī)接收從該加工裝置發(fā)送的通知信號(hào)，該控制信號(hào)生成部生成從該發(fā)送機(jī)發(fā)送的控制信號(hào)，該控制單元的該控制信號(hào)生成部根據(jù)該控制單元的該接收機(jī)所接收的通知信號(hào)而生成從該控制單元的該發(fā)送機(jī)發(fā)送的控制信號(hào)，該控制單元的該發(fā)送機(jī)將該控制單元的該控制信號(hào)生成部所生成的控制信號(hào)發(fā)送至該加工裝置、該無(wú)人搬運(yùn)車以及該貯存單元，該無(wú)人搬運(yùn)車根據(jù)該無(wú)人搬運(yùn)車的該接收機(jī)所接收的控制信號(hào)，在將該收納部?jī)?chǔ)存于該儲(chǔ)存空間的狀態(tài)下在該搬運(yùn)通路上行駛，當(dāng)在該搬運(yùn)通路的相當(dāng)于該加工裝置的上方的第1停車區(qū)域或該搬運(yùn)通路的相當(dāng)于該貯存單元的上方的第2停車區(qū)域停車時(shí)，使該收納部升降而在該第1停車區(qū)域與該加工裝置的內(nèi)部之間或在該第2停車區(qū)域與該貯存單元的該收納部保持臺(tái)之間搬運(yùn)該收納部。

在該搬運(yùn)系統(tǒng)中，優(yōu)選該搬運(yùn)通路設(shè)置于該加工裝置的上表面。