[發明專利]用于平衡真空泵轉子或真空泵旋轉單元轉子的方法

在審

• 申請號: 202010284877.3
• 申請日: 2015-03-06
• 公開（公告）號: CN111473000A
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 艾德里安·維爾特;安德里亞斯·里普爾
• 申請（專利權）人: 普發真空有限公司
• 主分類號: F04D29/66
• 分類號: F04D29/66;F04D27/00;F04D29/058;G01M1/38
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 羅平

1.一種用于平衡真空泵(10)特別是渦輪分子泵轉子(16)或真空泵(10)，特別是平衡渦輪分子泵旋轉單元(26)轉子的方法，其中，轉子(16)借助至少一個磁性軸承(44)特別是永磁軸承，相對于真空泵(10)或旋轉單元(26)的定子，以環繞旋轉軸(30、30')可旋轉地被支承，其中，所述方法包括以下步驟：測量磁性軸承(44)平面(E3)上轉子(16)的不平衡，測量磁性軸承(44)平面(E3)外的平面(E2)上轉子(16)的不平衡，所述不平衡是通過優選在磁性軸承平面(E3)外的平面(E2)上切除轉子(16)的材料來消除，并根據不平衡的情況移動并調節旋轉軸(30、30')的位置。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，旋轉軸(30、30')的位置被移動并調節，以使旋轉軸(30、30')至少在磁性軸承平面(E3)上與轉子(16)的主慣性軸線(80)至少接近重合，和/或旋轉軸(30、30')的位置被移動并調節，以使不平衡得到減少，其中，優選為將旋轉軸移至使轉子(16)的剩余不平衡達到最小化的最佳位置。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，特別是借助平衡算法確定轉子(16)不平衡最小化時旋轉軸的最佳位置并隨后將旋轉軸(30、30')移至最佳位置，和/或根據旋轉軸(30、30')位置和/或主慣性軸線(80)位置的情況，通過特別是通過在其形狀和/或其材料專有的磁性特性方面改變磁性軸承(44)，特別是在磁性軸承平面(E3)上移動并調節旋轉軸(30、30')的位置。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，根據旋轉軸(30、30')的位置與主慣性軸線(80)的位置偏差(Δρ)的情況，特別是在形狀和/或材料專有的磁性特性方面改變磁性軸承(44)，其中，優選地，偏差(Δρ)按照量和方向確定。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，為移動并調節旋轉軸(30、30')的位置，從磁性軸承(44)的至少一個永久磁鐵(48、52)上去除材料，特別是最好通過從磨削、鉆孔、銑削和車削組中選取的切削方法來去除材料。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，為移動并調節旋轉軸(30、30')的位置，磁性軸承(44)的至少一個永久磁鐵(48、52)至少在一個區域(74)內至少部分被消磁。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述區域(74)通過加熱，以達到高于能夠使至少部分永久磁鐵(48、52)持續失去其磁性特性的溫度而實現消磁，和/或所述區域(74)通過利用激光輻射的照射加熱。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在移動并調節之前確定特別是磁性軸承平面(E3)上旋轉軸(30、30')的位置和/或主慣性軸線(80)的位置，其中，優選地，主慣性軸線(80)的位置根據所測量的不平衡情況來確定。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述方法中，不平衡是通過加入特別是擰入至少一個配重而至少接近消除，其中，優選地，材料借助激光輻射切除，特別是在轉子(16)旋轉期間，最好是在不平衡測量期間或過程中。

10.真空泵(10)特別是渦輪分子泵，或真空泵(10)的特別是渦輪分子泵的旋轉單元(26)，具有轉子(16)，所述轉子借助至少一個磁性軸承(44)特別是永磁軸承，相對于真空泵(10)或旋轉單元(26)的定子，以環繞旋轉軸(30、30')可旋轉地被支承，其中，旋轉軸(30、30')的位置被移動并調節，以使旋轉軸(30、30')至少在磁性軸承的平面(E3)上與轉子(16)的主慣性軸線(80)至少接近重合，

其中，在至少一個平面(E2)上特別是在磁性軸承的平面(E3)外的平面(E2)上，轉子(16)的不平衡是通過切除轉子(16)的材料至少接近消除。