[發明專利]一種銅或銅合金表面微蝕液及其處理方法有效
| 申請號： | 202010200313.7 | 申請日： | 2020-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN111349937B | 公開（公告）日： | 2022-03-22 |
| 發明（設計）人： | 劉清;萬克寶;劉會會;唐小俠;袁國柱 | 申請（專利權）人： | 鹽城維信電子有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 224000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 銅合金 表面 微蝕液 及其 處理 方法 | ||
1.一種銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于：所述微蝕液由以下質量百分濃度的組分組成：過氧化氫0.1％～1％，硫酸0.1％～10％，過氧化氫穩定劑0.01％～10％，保護劑0.01％～1％，氯離子0.003％～0.02％，余量為去離子水，經該微蝕液處理后的銅或銅合金表面的微蝕量在0.2微米以下。
2.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述過氧化氫穩定劑為含有極性氫原子官能團的有機化合物。
3.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述保護劑為唑類物質、二正丁胺、烷酮吡咯中的至少一種。
4.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述氯離子來源于氯化氫或水溶性金屬氯化物。
5.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述過氧化氫的質量百分濃度為0.3％～0.8％。
6.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述硫酸的質量百分濃度為0.5％～3％。
7.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述過氧化氫穩定劑的質量百分濃度為0.5％～3％。
8.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述保護劑質量百分濃度為0.05％～0.3％。
9.根據權利要1所述的銅或銅合金表面微蝕液，其特征在于，所述氯離子質量百分濃度為0.003％～0.01％。
10.一種銅或銅合金表面的處理方法，其特征在于，包括如下步驟：將銅或銅合金表面至少一部分與權利要求1-9任一項所述的微蝕液接觸，其中操作溫度為20～40℃，處理時間為0.5～5min。
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