[發明專利]感光性樹脂組合物、經圖案化的固化膜的制造方法、及經圖案化的固化膜

在審

• 申請號: 202010198720.9
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN111796482A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 田所惠典
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1335
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;焦成美

1.感光性樹脂組合物，其包含堿溶性樹脂(A)、光聚合性單體(B)、光聚合引發劑(C)、和氟系樹脂(D)，

其中，所述光聚合引發劑(C)包含下述式(C1)所示的光聚合引發劑(C-I)，

式(C1)中，X^c1為二價或三價的連接基團，多個R^c1各自獨立地為一價的有機基團，多個R^c2各自獨立地為氫原子、可具有取代基的碳原子數為1以上且11以下的烷基、或可具有取代基的芳基，多個R^c3各自獨立地為通過C-N鍵與咔唑環中的氮原子鍵合的一價的有機基團，t1為0或1。

2.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述t1為0。

3.如權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述X^c1為下述式(C2)表示的二價或三價的連接基團，

式(C2)中，X^c2為二價或三價的芳香族基團，多個X^c3各自獨立地為-C(＝O)-、-C(＝S)-、或單鍵，當t1為0時t2為0，當t1為1時t2為1。

4.如權利要求1～3中任一項所述的感光性樹脂組合物，其還包含著色劑(E)。

5.如權利要求4所述的感光性樹脂組合物，其中，所述著色劑(E)為遮光劑(E1)。

6.如權利要求5所述的感光性樹脂組合物，其用于形成隔堤。

7.經圖案化的固化膜的制造方法，其包括下述工序：

將權利要求1～6中任一項所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上從而形成涂布膜的工序；和

對所述涂布膜進行曝光的工序，

其中，所述涂布膜進行圖案化，或者

對所述涂布膜進行位置選擇性的曝光，接著，進行針對經曝光的所述涂布膜的顯影。

8.經圖案化的固化膜，其由權利要求1～6中任一項所述的感光性樹脂組合物的固化物形成。

9.隔堤，其由權利要求6所述的用于形成隔堤的感光性樹脂組合物的固化物形成。

10.用于制造光學元件的帶隔堤的基板，其中，在基板上具備權利要求9所述的隔堤。

11.光學元件，其具備權利要求10所述的用于制造光學元件的帶隔堤的基板。

12.顯示裝置，其具備權利要求11所述的光學元件。

13.隔堤的形成方法，其包括下述工序：

將權利要求6所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上從而形成涂布膜的工序；和

對所述涂布膜進行曝光的工序，

其中，所述涂布膜進行圖案化，或者

對所述涂布膜進行位置選擇性的曝光，接著，進行針對經曝光的所述涂布膜的顯影。

14.光學元件的制造方法，其包括向由利用權利要求13所述的方法在基板上形成的所述隔堤圍成的區域內注入油墨而形成像素的工序。

15.如權利要求14所述的光學元件的制造方法，其中，所述油墨通過噴墨法而被注入由所述隔堤圍成的區域內。

16.如權利要求14或15所述的光學元件的制造方法，其中，所述光學元件為濾色器、有機EL顯示元件、量子點顯示器、或有機TFT陣列。