[發(fā)明專利]一種基于微波諧振的薄膜檢測(cè)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010197451.4
• 申請(qǐng)日: 2020-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN111457868A
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐程松;謝明;劉偉雄;張楊;曾來(lái)榮;肖偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 綿陽(yáng)人眾仁科技有限公司
• 主分類號(hào): G01B15/02
• 分類號(hào): G01B15/02;G01N22/00;G01N22/04
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• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開了一種基于微波諧振的薄膜檢測(cè)方法，屬于薄膜生產(chǎn)領(lǐng)域。依次包括以下步驟：將同步傳輸框架運(yùn)送到拉伸膜機(jī)的出膜處與收卷處之間，調(diào)整上微調(diào)架和下微調(diào)架的傾斜角度以及上導(dǎo)紙板與下導(dǎo)紙板之間的間隙，使上導(dǎo)紙板和下導(dǎo)紙板與待檢測(cè)薄膜的輸送傾斜角度相同，上諧振腔內(nèi)的諧振發(fā)生器產(chǎn)生諧振頻率并由下諧振腔內(nèi)的諧振接收器接收，設(shè)置在同步傳輸框架上的控制板對(duì)發(fā)生改變的諧振頻率參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示和存儲(chǔ)，并計(jì)算得出待檢測(cè)薄膜的厚度、克重及水份濃度，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了薄膜物理參數(shù)動(dòng)態(tài)測(cè)量，上諧振腔與下諧振腔的間隙和同軸度的微米級(jí)調(diào)節(jié)，并采用微波諧振方法同時(shí)測(cè)量薄膜厚度和水份濃度精度高，測(cè)量范圍廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及薄膜生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種基于微波諧振的薄膜檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

為了確保薄膜生產(chǎn)高效、經(jīng)濟(jì)、高質(zhì)量，生產(chǎn)中物理參數(shù)的動(dòng)態(tài)測(cè)量非常重要。傳統(tǒng)生產(chǎn)中薄膜物理參量動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)使用兩種方法檢測(cè)，一種是輻射法，另一種是光學(xué)法。輻射法會(huì)對(duì)環(huán)境造成輻射污染，對(duì)生產(chǎn)人員造成傷害，生產(chǎn)成本增加；光學(xué)法雖無(wú)污染，但是檢測(cè)范圍和精度受限，很難滿足生產(chǎn)需要。如何高效、經(jīng)濟(jì)、安全的滿足薄膜生產(chǎn)中物理參數(shù)的動(dòng)態(tài)測(cè)量，是制約薄膜生產(chǎn)的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。尤其是滿足智能生產(chǎn)需求尤為迫切。微波可以用于薄膜物理參數(shù)動(dòng)態(tài)測(cè)量早有定論，而且很多文獻(xiàn)報(bào)道，但用于生產(chǎn)實(shí)際中僅只有微波水份檢測(cè)產(chǎn)品，其他未見報(bào)道。薄膜生產(chǎn)中，人們第一關(guān)心的物理參量是厚度或單位平方的重量，第二是水份濃度，目前薄膜生產(chǎn)中厚度的動(dòng)態(tài)測(cè)量主要采用輻射法，少量采用光學(xué)法，薄膜厚度和水份濃度使用同一裝置完成動(dòng)態(tài)測(cè)量未見報(bào)道。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出了一種基于微波諧振的薄膜檢測(cè)方法，具體技術(shù)方案如下：

一種基于微波諧振的薄膜檢測(cè)方法，依次包括以下步驟：

S1：將同步傳輸框架運(yùn)送到拉伸膜機(jī)的出膜處與收卷處之間，并通過(guò)測(cè)距千分表使上諧振腔和下諧振腔處于同一條軸線上；

S2：調(diào)整上微調(diào)架和下微調(diào)架的傾斜角度以及上導(dǎo)紙板與下導(dǎo)紙板之間的間隙，使上導(dǎo)紙板和下導(dǎo)紙板與待檢測(cè)薄膜的輸送傾斜角度相同；

S3：將拉伸膜機(jī)出膜處的待檢測(cè)薄膜起始端穿過(guò)薄膜檢測(cè)間隙，并固定于拉伸膜機(jī)收卷處，然后啟動(dòng)拉伸膜機(jī)以及同步傳輸框架內(nèi)的輸送電機(jī)；

S4：輸送電機(jī)驅(qū)動(dòng)上微調(diào)架和下微調(diào)架沿薄膜機(jī)械進(jìn)行同步往復(fù)運(yùn)動(dòng)，上諧振腔內(nèi)的諧振發(fā)生器產(chǎn)生諧振頻率并由下諧振腔內(nèi)的諧振接收器接收，諧振接收器將接收到的諧振頻率信號(hào)傳輸?shù)娇刂瓢澹?/p>

S5：設(shè)置在同步傳輸框架上的控制板對(duì)發(fā)生改變的諧振頻率參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示和存儲(chǔ)，并計(jì)算得出待檢測(cè)薄膜的厚度、克重及水份濃度。

作為優(yōu)選，步驟（S2）中上導(dǎo)紙板與下導(dǎo)紙板之間的間隙由設(shè)置在下微調(diào)架內(nèi)的渦輪傳感器進(jìn)行測(cè)量。

作為優(yōu)選，步驟（S1）中同步傳輸框架頂端內(nèi)側(cè)和底端內(nèi)側(cè)均設(shè)有高精度基準(zhǔn)面。

作為優(yōu)選，高精度基準(zhǔn)面的不平行度應(yīng)小于±0.05mm。

作為優(yōu)選，上諧振腔上端面與同步傳輸框架頂端內(nèi)側(cè)的高精度基準(zhǔn)面之間的不平行度應(yīng)小于0.1mm。

作為優(yōu)選，下諧振腔下端面與同步傳輸框架底端內(nèi)側(cè)的高精度基準(zhǔn)面之間的不平行度應(yīng)小于0.1mm。

作為優(yōu)選，步驟（S1）中上諧振腔和下諧振腔的不同軸度應(yīng)小于0.1mm。

作為優(yōu)選，步驟（S5）中控制板上設(shè)有顯示屏，控制板計(jì)算得出的待檢測(cè)薄膜厚度、克重及水份濃度均顯示在顯示屏上。

本發(fā)明具有以下有益效果：