[發明專利]一種氣體傳感器響應時間的快速測量裝置

在審

• 申請號: 202010196621.7
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN111323542A
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 錢翔;趙麒;王曉浩;張旻;董瑛
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳國際研究生院
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 王震宇

1.一種氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，包括多個氣腔，多個氣腔之間通過選擇裝置連接，所述選擇裝置包括傳感器腔、可控開關及測試接口，待測傳感器放置在所述傳感器腔中，并通過所述測試接口連接外部測量電路；所述傳感器腔與多個氣腔連接，并由所述可控開關控制與各個氣腔的連接通道的開閉，測量時先對各個腔體通入設定參數的氣體并達到氣體參數穩定，再通過選擇所述可控開關的開閉來選擇所述傳感器腔與不同的氣腔連接，以快速測量出待測傳感器在不同氣體參數下的響應。

2.如權利要求1所述氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，還包括與所述多個氣腔相連的配氣裝置，所述配氣裝置包括多個質量流量控制器及混氣裝置，不同參數的氣體由所述質量流量控制器控制輸入，經過所述混氣裝置混合后得到預定參數的氣體，再輸入相應的氣腔。

3.如權利要求2所述氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，所述配氣裝置還包括加濕裝置，在需要加濕的情況下，氣體通過所述加濕裝置加濕，接著通過所述質量流量控制器，產生所需濕度的氣體。

4.如權利要求2所述氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，所述配氣裝置還包括加熱裝置，在需要加熱的情況下，氣體通過所述加熱裝置加熱，接著通過所述質量流量控制器，產生所需溫度的氣體。

5.如權利要求1至4任一項所述氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，所述氣腔包括可控制開閉的進氣裝置、出氣裝置和真空裝置。

6.如權利要求1至4任一項所述氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，還包括與所述多個氣腔連通的尾氣處理裝置。

7.如權利要求1至6任一項所述氣體傳感器響應時間的快速測量裝置，其特征在于，所述測試電路包括電阻﹑電容或電感測試儀。