[發明專利]一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置在審
| 申請號： | 202010181513.2 | 申請日： | 2020-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN111351844A | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發明（設計）人： | 劉政豪;朱康偉;張瑋 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院材料研究所 |
| 主分類號： | G01N27/90 | 分類號： | G01N27/90 |
| 代理公司： | 成都希盛知識產權代理有限公司 51226 | 代理人： | 李蓉;何強 |
| 地址： | 621700 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 超導 量子 干涉儀 渦流 檢測 裝置 | ||
1.一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置，其特征在于：包括超導屏蔽筒(3)、液氮容器(4)、磁屏蔽室(7)、無磁性位移臺(6)和探測元件以及探測元件的驅動分析電路；
所述液氮容器(4)和無磁性位移臺(6)均安裝于磁屏蔽室(7)內，且所述無磁性位移臺(6)位于液氮容器(4)的相鄰外部；
由外至內，所述超導屏蔽筒(3)安裝于液氮容器(4)中，所述探測元件安裝于超導屏蔽筒(3)中，且所述液氮容器(4)中加注有液氮(5)，所述超導屏蔽筒(3)和探測元件均浸入液氮(5)；
所述超導屏蔽筒(3)為一端開口的筒體，其開口端與所述無磁性位移臺(6)分別位于液氮容器(4)對應內壁的兩側，由與所述超導屏蔽筒(3)的開口端相對應的液氮容器(4)內壁形成容渦流磁場信號通過的信號窗口；
所述探測元件位于超導屏蔽筒(3)的開口端并與信號窗口相鄰；
所述探測元件包括單結的超導量子干涉儀芯片(1)和圓柱形的激勵線圈(2)；所述激勵線圈(2)位于超導量子干涉儀芯片(1)和信號窗口之間，且所述激勵線圈(2)的軸線垂直于無磁性位移臺(6)；
所述超導量子干涉儀芯片(1)同激勵線圈(2)遠離無磁性位移臺(6)的一端端部相鄰，且所述超導量子干涉儀芯片(1)的檢測中心位于激勵線圈(2)的軸線上，并確保所述激勵線圈(2)軸線與超導量子干涉儀芯片(1)的結平面相互平行。
2.如權利要求1所述的一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置，其特征在于：所述探測元件的驅動分析電路包括磁通鎖定電路(8)、超導量子干涉儀控制器(9)、鎖相放大器(10)、信號發生器(11)和計算機(13)；
其中，所述超導量子干涉儀芯片(1)經磁通鎖定電路(8)與超導量子干涉儀控制器(9)電連接，所述激勵線圈(2)與信號發生器(11)的輸出端電連接；所述超導量子干涉儀控制器(9)的信號輸出端與鎖相放大器(10)的信號輸入端電連接，所述信號發生器(11)與鎖相放大器(10)的參考信號端電連接，所述鎖相放大器(10)的信號輸出端與計算機(13)電連接。
3.如權利要求1所述的一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置，其特征在于：所述超導屏蔽筒(3)為超導體制品。
4.如權利要求1所述的一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置，其特征在于：所述無磁性位移臺(6)水平設置，且位于液氮容器(4)的下方，所述超導屏蔽筒(3)開口向下；
所述超導量子干涉儀芯片(1)、激勵線圈(2)與無磁性位移臺(6)由上至下依次布置。
5.如權利要求2所述的一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置，其特征在于：所述無磁性位移臺(6)采用電控無磁性位移臺，且所述電控無磁性位移臺的位移控制器(12)與計算機(13)電連接。
6.如權利要求5所述的一種基于超導量子干涉儀的渦流檢測裝置，其特征在于：所述超導量子干涉儀控制器(9)、鎖相放大器(10)、信號發生器(11)、位移控制器(12)和計算機(13)均安裝在磁屏蔽室(7)的外部。
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