[發明專利]一種液晶顯示面板及其制備方法在審
| 申請號: | 202010176485.5 | 申請日: | 2020-03-13 |
| 公開(公告)號: | CN111290161A | 公開(公告)日: | 2020-06-16 |
| 發明(設計)人: | 雍瑋娜 | 申請(專利權)人: | TCL華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1335 | 分類號: | G02F1/1335;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 液晶顯示 面板 及其 制備 方法 | ||
1.一種液晶顯示面板制備方法,其特征在于,包括:
步驟S10,制備遮光層,包括提供一第一基板,用氮化硅材料在所述第一基板上制備遮光層;
步驟S20,制備封框膠,包括在所述遮光層上制備封框膠;
步驟S30,制備液晶層,包括提供一第二基板,在所述第二基板上滴注液晶分子;以及
步驟S40,基板對位,包括把所述第一基板和所述第二基板對位設置。
2.根據權利要求1所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,在步驟S10中,制備所述遮光層包括以下步驟:
步驟S11,在所述第一基板上沉積整層氮化硅薄膜;
步驟S12,在所述氮化硅薄膜上涂布光阻;
步驟S13,對所述光阻進行曝光、顯影,在所述氮化硅薄膜的側邊形成光阻圖案;
步驟S14,以所述光阻圖案為遮擋,對所述氮化硅薄膜進行蝕刻,形成遮光層;以及
步驟S15,剝離掉所述遮光層上的所述光阻圖案。
3.根據權利要求2所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,在步驟S11中,所述氮化硅薄膜的沉積工藝包括物理氣相沉積、化學氣相沉積、原子層沉積工藝中的一種。
4.根據權利要求2所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,在步驟S12中,所述光阻包括正性光阻、負性光阻中的一種。
5.根據權利要求2所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,在步驟S14中,采用干蝕刻法對所述氮化硅薄膜進行蝕刻。
6.根據權利要求2所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,在步驟S15中,采用光阻剝離液剝離掉所述光阻圖案。
7.根據權利要求2所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,在對所述氮化硅薄膜進行蝕刻時,使形成的所述遮光層上表面呈凸凹結構,以增大所述遮光層與所述封框膠之間的接觸面積。
8.根據權利要求1所述的液晶顯示面板制備方法,其特征在于,所述第一基板為彩膜基板,所述第二基板為陣列基板。
9.一種液晶顯示面板,其特征在于,包括:
第一基板,所述第一基板的側邊設置有遮光層;
第二基板,與所述第一基板相對設置;
封框膠,設置于所述遮光層上,且位于所述第一基板和所述第二基板之間;以及
液晶分子,設置于所述第一基板和所述第二基板之間;
其中,所述遮光層的材料包括氮化硅。
10.根據權利要求9所述的液晶顯示面板,其特征在于,所述遮光層與所述封框膠的接觸面設置有凸凹結構。
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