[發明專利]顆粒傳感器和對此的制造方法

在審

• 申請號: 202010173594.1
• 申請日: 2020-03-13
• 公開（公告）號: CN111693419A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: R·魯薩諾夫;U·格蘭茨
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.顆粒傳感器(100)，該顆粒傳感器具有用于給流體流(A1)中的顆粒(P)充電的顆粒充電裝置(110)，其中，所述顆粒充電裝置(110)具有用于產生電暈放電(113)的至少一個電暈電極(112；112’)，其中，所述顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)具有帶著表面(102a)的載體元件(102)，并且，其中，所述至少一個電暈電極(112；112’)構造為平坦的元件并且布置在所述載體元件(102)的所述表面(102a)上。

2.根據權利要求1所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述至少一個電暈電極(112；112’)沿著所述載體元件(102)的所述表面(102a)的表面法線(102a’)的最大尺寸延展(D)小于所述至少一個電暈電極(112；112’)在相應于所述載體元件(102)的所述表面(102a)的虛擬平面中的最大尺寸延展(L、B)。

3.根據前述權利要求中至少一項所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述至少一個電暈電極(112；112’)施加到、尤其印刷到、尤其借助于篩網印刷方法印刷到所述載體元件(102)的所述表面(102a)上。

4.根據前述權利要求中至少一項所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述電暈電極(112；112’)沿著第一坐標軸(x)在所述載體元件(102)的所述表面(102a)中的長度(L)大于、尤其至少十倍地大于所述電暈電極(112；112’)沿著垂直于所述第一坐標軸的第二坐標軸在所述載體元件(102)的所述表面(102a)中的寬度(B)。

5.根據前述權利要求中至少一項所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述電暈電極(112；112’)或所述電暈電極(112；112’)的至少一個電極尖端(112_1)具有下列元素中的至少一個元素和/或由下列元素中的至少一個元素或下列元素中的多個元素的混合物組成：鉑，鉑合金，銥，銥合金，類似鉑的貴金屬，陶瓷材料、尤其是氧化鋁、Al₂O₃。

6.根據前述權利要求中至少一項所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)具有用于使所述流體流(A1)的帶電微粒偏轉的至少一個陷阱電極(120)和/或用于感測關于所述流體流(A1)中的帶電顆粒(P’)的信息的至少一個傳感器電極(130)，其中，所述至少一個陷阱電極(120)和/或所述至少一個傳感器電極(130)尤其與所述至少一個電暈電極(112；112’)布置在所述載體元件(102)的同一個表面(102a)上。

7.根據前述權利要求中至少一項所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，設置有多個電暈電極(112、112’)，其中，尤其是，第一電暈電極(112)布置在所述載體元件(102)的第一表面(102a)上并且第二電暈電極(112’)布置在所述載體元件(102)的第二表面(102b)上。

8.根據前述權利要求中至少一項所述的顆粒傳感器(100；100a；100b；100c；100d；100e)，其中，所述載體元件(102)由陶瓷材料、尤其是薄膜陶瓷組成，其中尤其是，至少一個電極(112、112’、114、120、130)和/或用于所述至少一個電極的至少一個供應導線(112_2)構造為篩網印刷元件，和/或，其中尤其是，用于所述電暈電極(112)的至少一個供應導線(112_2)和/或至少一個區域(EB2)的至少一個鈍化部(PAS)構造為篩網印刷元件。