[發(fā)明專利]一種基于CVD/CVI雙工藝的纖維增強復(fù)合材料沉積爐在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010171987.9 | 申請日： | 2020-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN111235548A | 公開（公告）日： | 2020-06-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張松;鄭麗麗;張輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué) |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 羅文群 |
| 地址： | 100084*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 cvd cvi 雙工 纖維 增強 復(fù)合材料 沉積 | ||
1.一種基于CVD/CVI雙工藝的纖維增強復(fù)合材料沉積爐，其特征在于包括下方爐膛、上方爐膛和樣品工裝，樣品工裝置于下方爐膛的頂端，下方爐膛的頂部通過樣品工裝與上方爐膛相連通；所述的下方爐膛和上方爐膛的爐體分別由保溫材料、爐膛內(nèi)膽、加熱器和密封法蘭組成，加熱器置于保溫材料與爐膛內(nèi)膽之間；所述的上方爐膛的一端通過密封法蘭設(shè)置有原料氣進口管路，原料氣進口管路上設(shè)置有進流量控制閥門，原料氣進口管路與沉積爐外的原料氣源相連接，上方爐膛的另一端通過密封法蘭設(shè)置有上方爐膛尾氣管路，上方爐膛尾氣管路與沉積爐外的真空裝置及尾氣處理裝置相連接，上方爐膛尾氣管路上設(shè)置有上方爐膛尾氣節(jié)流閥門；所述的下方爐膛的頂部通過樣品工裝與上方爐膛相連通，下方爐膛的底部通過密封法蘭設(shè)置有下方爐膛尾氣管路，下方爐膛尾氣管路上設(shè)有下方爐膛尾氣節(jié)流閥門，下方爐膛尾氣管路與沉積爐外的真空裝置及尾氣處理裝置相連接；所述的樣品工裝由纖維預(yù)制體、石墨夾具及導(dǎo)流板組成，石墨夾具將纖維預(yù)制體固定在下方爐膛的中央位置，導(dǎo)流板設(shè)置在石墨夾具的上部，導(dǎo)流板上開有導(dǎo)流孔。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
