[發(fā)明專利]一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)及分析方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010165155.6
• 申請(qǐng)日: 2020-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN111273164B
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廉鵬飛;張輝;李娟;許偉達(dá);圣冬冬;潘瑩;孔澤斌;樓建設(shè);王昆黍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海精密計(jì)量測(cè)試研究所
• 主分類號(hào): G01R31/311
• 分類號(hào): G01R31/311;G01R31/28
• 代理公司: 上海航天局專利中心 31107
• 代理人: 施穎杰

本發(fā)明公開了一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)及分析方法,包括：EMMI平臺(tái)、PCB基板、外部電源、信號(hào)發(fā)生器、V?I源。PCB基板置于EMMI平臺(tái)上，PCB基板上通過插針安裝有夾具一和夾具二，PCB基板包括信號(hào)端、電源端、公共地、負(fù)載端4個(gè)端口，4個(gè)端口分別與信號(hào)發(fā)生器、外部電源、系統(tǒng)地、V?I源相連，夾具一和夾具二分別用以安裝失效電壓調(diào)器和正常電壓調(diào)整器。通過包含外部電源、信號(hào)發(fā)生器、V?I源在內(nèi)的動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，能夠使電壓調(diào)整器內(nèi)部器件進(jìn)入工作狀態(tài)，從而有效激發(fā)能夠被微光顯微鏡獲所取的缺陷。將失效電壓調(diào)整器和正常電壓調(diào)整器進(jìn)行相同方式的加電，并且通過開關(guān)進(jìn)行統(tǒng)一切換，能夠快速實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)EMMI圖像的對(duì)比。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試分析技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI 分析系統(tǒng)及分析方法。

背景技術(shù)

電壓調(diào)整器是電源管理技術(shù)中的一種重要器件，具有噪聲低、輸出阻抗低、面積小、功耗低、精度高、紋波小等特點(diǎn)，基于這些特點(diǎn)，電壓調(diào)整器可以將特性比較差的直流輸入電壓轉(zhuǎn)換為特性比較好的直流輸出電壓，進(jìn)而保證被供電電路的性能。電壓調(diào)整器由于過電應(yīng)力、靜電放電、固有缺陷、柵氧化層擊穿等原因會(huì)發(fā)生失效。如果要分析電壓調(diào)整器的失效機(jī)理，首先需要進(jìn)行失效缺陷定位，有些失效缺陷定位可以直接通過靜態(tài)直流檢測(cè)得到，比如，當(dāng)失效電壓調(diào)整器的端口I-V特性曲線表征與正常器件不同時(shí)，采用傳統(tǒng)的微光顯微鏡 (EMMI)和光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)，并將失效電壓調(diào)整器與正常器件進(jìn)行對(duì)比從而定位失效缺陷。但對(duì)于通過I-V特性曲線無法偵測(cè)出靜態(tài)電流異常的電壓調(diào)整器，采用靜態(tài)EMMI進(jìn)行失效定位變得十分困難。因此，需要一種能夠?qū)崿F(xiàn)電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI的分析系統(tǒng)，并且具有分析速度快、操作簡(jiǎn)單、成本低等優(yōu)點(diǎn)。

與本發(fā)明最為接近的已有技術(shù)是李強(qiáng)、蔡恩靜于2014年公開的發(fā)明專利《一種動(dòng)態(tài)EMMI系統(tǒng)及其實(shí)現(xiàn)方法和應(yīng)用方法》，該發(fā)明中所涉及的系統(tǒng)包括通用 EMMI平臺(tái)、安裝有需分析芯片的PCB基板、信號(hào)發(fā)生器以及外部電源，但是測(cè)試方法主要對(duì)象是存儲(chǔ)芯片和簡(jiǎn)單邏輯IC，無法用來針對(duì)電壓調(diào)器進(jìn)行動(dòng)態(tài) EMMI分析。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)及分析方法，從而能夠通過速度快、操作簡(jiǎn)單、成本低的動(dòng)態(tài)EMMI實(shí)現(xiàn)對(duì)電壓調(diào)整器的失效分析。

為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明提供一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，包括：EMMI平臺(tái)、PCB基板、外部電源、信號(hào)發(fā)生器、V-I源；PCB基板置于EMMI平臺(tái)上，與信號(hào)發(fā)生器、外部電源、V-I源相連。

上述一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，其中，所述PCB基板上通過插針安裝有夾具一和夾具二，夾具一和夾具二分別用以安裝失效電壓調(diào)器和正常電壓調(diào)整器。

上述一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，其中，所述PCB基板包括信號(hào)端、電源端、公共地、負(fù)載端4個(gè)端口，4個(gè)端口分別與信號(hào)發(fā)生器、外部電源、系統(tǒng)地、V-I源相連。

上述一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，其中，所述夾具一和夾具二都包含調(diào)整端、使能端、輸入端、接地端、輸出端5個(gè)端口，夾具一和夾具二對(duì)應(yīng)的使能端、輸入端、接地端、輸出端分別通過1個(gè)可擲開關(guān)進(jìn)行切換，再通過微帶線分別與PCB基板上的信號(hào)端、電源端、公共地、負(fù)載端4個(gè)端口相連接，夾具一和夾具二對(duì)應(yīng)的調(diào)整端通過1個(gè)可擲開關(guān)進(jìn)行切換，再通過微帶線與PCB基板上的電阻網(wǎng)絡(luò)相連接。

上述一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，其中，所述電阻網(wǎng)絡(luò)由1個(gè)滑動(dòng)變阻器和1個(gè)電阻串聯(lián)構(gòu)成，電阻網(wǎng)絡(luò)的兩端分別與PCB基板的負(fù)載端和公共地相連接，滑動(dòng)變阻器和電阻的連接點(diǎn)與夾具一調(diào)整端和夾具二調(diào)整端的可擲開關(guān)相連接。

上述一種電壓調(diào)整器動(dòng)態(tài)EMMI分析系統(tǒng)，其中，所述PCB基板的公共地與外部電源、信號(hào)發(fā)生器、V-I源的系統(tǒng)地相連接。