[發明專利]基于電泳的Micro LED排列機器人

在審

• 申請號: 202010155060.6
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN111223801A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 張明春
• 申請（專利權）人: 點棧（紹興）智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/48;C25D13/22;C25D13/24
• 代理公司: 深圳靈頓知識產權代理事務所(普通合伙) 44558
• 代理人: 陶品德

1.一種基于電泳的Micro LED排列機器人，其特征在于，包括頂部具有開口的電泳槽（1）、設于電泳槽（1）外側壁上的熱交換器（2），以及相對設于電泳槽（1）兩內側壁上的陽極基板（3）和陰極基板（4）。

2.根據權利要求1所述的基于電泳的Micro LED排列機器人，其特征在于，所述熱交換器（2）具有進液管和出液管，所述熱交換器（2）的進液管連接有進液板（5），所述熱交換器（2）的出液管連接有出液板（6），所述進液板（5）設于陰極基板（4）與電泳槽（1）的內側壁之間，所述出液板（6）設于陽極基板（3）與電泳槽（1）的內側壁之間；還包括元件定向固定膜（7）和冷卻氮氣噴嘴（8），所述元件定向固定膜（7）設于電泳槽（1）內、且貼靠陰極基板（4），所述元件定向固定膜（7）位于陽極基板（3）與陰極基板（4）之間，所述元件定向固定膜（7）朝向陽極基板（3）的表面上矩陣排列有若干元件容置井（71），所述冷卻氮氣噴嘴（8）固定在電泳槽（1）內側壁的頂部、且與陰極基板（4）位于同一側，所述冷卻氮氣噴嘴（8）的高度大于陰極基板（4）和元件定向固定膜（7）的高度。

3.根據權利要求1所述的基于電泳的Micro LED排列機器人，其特征在于，所述陰極基板（4）為鈦網結構，且其朝向元件定向固定膜（7）的表面上均布有點狀突起。

4.根據權利要求1所述的基于電泳的Micro LED排列機器人，其特征在于，所述元件定向固定膜（7）包括固定膜層和分解膜層，所述固定膜層設于分解膜層上，所述固定膜層朝向陽極基板（3）的表面上根據Micro LED排列要求均布有元件容置井（71），所述分解膜層為光解材料制成的光分解膜層。