[發明專利]一種半導體自動化封裝系統在審
| 申請號: | 202010154512.9 | 申請日: | 2020-03-08 |
| 公開(公告)號: | CN111223800A | 公開(公告)日: | 2020-06-02 |
| 發明(設計)人: | 王先勤;張雪麗 | 申請(專利權)人: | 秦皇島知聚科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 066000 河北省秦*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 自動化 封裝 系統 | ||
1.一種半導體自動化封裝系統,包括垂直支架(3),所述垂直支架(3)正面的右側通過第三伺服電機支(28)架固定連接有第三伺服電機(29),所述第三伺服電機(29)的輸出軸固定連接有第四齒輪(27),第四齒輪(27)的右側面齒輪連接有第三齒輪(25),第三齒輪(25)正面的中心開設有通孔,通孔內插接有第二絲杠(19),并且第二絲杠(19)的前后兩端均通過第二絲杠支架(26)與垂直支(3)架轉動連接;
所述垂直支架(3)的左側面滑動連接有第一滑動光桿(2),并且第一滑動光桿(2)的底端固定連接有底座(1),所述第二絲杠(19)的外表面螺紋連接有第二螺母(18),第二螺母(18)的左側面固定連接有第二螺母掛架(17),第二螺母掛架(17)左側面的上側和下側分別轉動連接有第一絲杠(11)和固定連接有第二滑動光桿(12),所述第一絲杠(11)的外表面螺紋連接有第一螺母(13),并且第一螺母(13)與第二滑動光桿(12)滑動連接,第一螺母(13)的下表面固定連接有加熱線圈(14),加熱線圈(14)的外表面套接有加熱線圈套圈(15);
所述第一絲杠(11)外表面的左端轉動連接有齒輪支架(7),并且齒輪支架(7)右表面的下側與第二滑動光桿(12)固定連接,第一絲杠(11)的左端面固定連接有第一齒輪(5),第一齒輪(5)的上表面齒輪連接有第二齒輪(6),齒輪支架(7)的右側面通過第一伺服電機支架(8)和第一伺服電機支架滑桿(9)固定連接有第一伺服電機(10),并且第一伺服電機(10)的輸出軸與第二齒輪(6)固定連接,所述第一伺服電機支架(8)與垂直支架(3)的上表面通過滑動支架(4)滑動連接;
所述垂直支架(3)的右側面螺紋連接有第三絲杠(20),第三絲杠(20)的下方設置有第二伺服電機(24),并且第二伺服電機(24)的輸出軸與第三絲杠(20)固定連接,第三絲杠(20)的底座(1)的上表面固定連接,所述底座(1)上表面的前端通過第四伺服電機支架(32)固定連接有第四伺服電機(31),第四伺服電機(31)的輸出軸固定連接有旋轉摩擦桶(33),所述底座(1)上表面的后端固定連接有滑動半圓塊支架(23),滑動半圓塊支架(23)的左端通過滑動半圓塊支桿(22)固定連接有滑動半圓塊(21),并且旋轉摩擦桶(33)與滑動半圓塊(21)通過旋轉皮帶(34)固定連接,旋轉皮帶(34)的內側設置有加熱蒸汽銅管(30),并且加熱蒸汽銅管(30)的輸入端固定連接有蒸汽發生器(16),蒸汽發生器(16)與底座(1)的上表面固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種半導體自動化封裝系統,其特征在于:所述第二絲杠支架(26)為兩個,并且兩個第二絲杠支架(26)分別與垂直支架(3)前后表面的右側固定連接。
3.根據權利要求1所述的一種半導體自動化封裝系統,其特征在于:所述第一伺服電機支架滑桿(9)的左端固定連接有卡塊(35),并且第一伺服電機支架滑桿(9)和第一絲杠(11)均與滑動支架(4)滑動連接。
4.根據權利要求1所述的一種半導體自動化封裝系統,其特征在于:所述加熱線圈套圈(15)位于旋轉皮帶(34)的上方的中心。
5.根據權利要求1所述的一種半導體自動化封裝系統,其特征在于:所述加熱蒸汽銅管(30)的位于旋轉皮帶(34)內側的中心,并且加熱蒸汽銅管(30)的上表面和下表面與旋轉皮帶(34)內側面之間的間隙均為十毫米。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





