[發(fā)明專利]治具及蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010135318.6
• 申請(qǐng)日: 2020-03-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111246664B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔永濤;庭玉文;易燦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州興森快捷電路科技有限公司;深圳市興森快捷電路科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H05K1/16
• 分類號(hào): H05K1/16;H05K3/00
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 王薔

本發(fā)明涉及一種治具及蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)，包括：載板，所述載板開(kāi)設(shè)有第一加工窗口；蓋板，所述蓋板開(kāi)設(shè)有第二加工窗口，所述蓋板用于層疊設(shè)置在所述載板上；及連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)用于連接固定所述載板與所述蓋板，使埋容材料夾持固定在所述蓋板與所述載板中間。由于載板開(kāi)設(shè)有第一加工窗口，蓋板開(kāi)設(shè)有第二加工窗口，則埋容材料被夾持固定后用于制作圖形的待加工表面可從第一加工窗口和第二加工窗口露出，使得治具和埋容材料可集成到蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)中進(jìn)行圖形制作。相較于傳統(tǒng)裝夾方式而言，本方案的治具不會(huì)存在膠帶脫落導(dǎo)致污染產(chǎn)線的問(wèn)題發(fā)生，且不會(huì)存在膠帶沾污埋容材料表面，影響埋容材料成品品質(zhì)的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及印制電路板技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種治具及蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著MEMS產(chǎn)品所需要的電容值越來(lái)越大，生產(chǎn)MEMS產(chǎn)品所采用的埋容材料也越來(lái)越薄，其中電容層的厚度已由常規(guī)的12um已經(jīng)降到3um，相較于普通封裝基板采用的40～200um的通用厚度而言，3um的規(guī)格屬于超薄產(chǎn)品。而針對(duì)該超薄尺寸的埋容材料進(jìn)行圖形制作來(lái)說(shuō)，采用傳統(tǒng)的單面蝕刻工藝由于容易出現(xiàn)板損已然不再適用。目前，業(yè)界的解決對(duì)策是使用膠帶將超薄埋容材料粘貼到硬板上進(jìn)行加工來(lái)防止出現(xiàn)板損，但該方法又會(huì)帶來(lái)新的問(wèn)題：加工過(guò)程中，膠帶容易因浸潤(rùn)藥水等原因?qū)е抡承越档投l(fā)生脫落，脫落的膠帶會(huì)造成產(chǎn)線污染；此外，由于膠帶是與埋容材料直接粘接的，膠帶上的膠黏物質(zhì)容易沾染在埋容材料表面，造成埋容材料污染，影響成品品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種治具及蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)膠帶容易脫落污染產(chǎn)線，且膠帶沾污埋容材料影響品質(zhì)的問(wèn)題。

其技術(shù)方案如下：

一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N治具，其包括：

載板，所述載板開(kāi)設(shè)有第一加工窗口；

蓋板，所述蓋板開(kāi)設(shè)有第二加工窗口，所述蓋板用于層疊設(shè)置在所述載板上；及

連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)用于連接固定所述載板與所述蓋板，使埋容材料夾持固定在所述蓋板與所述載板中間。

上述方案的治具應(yīng)用裝備于蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)中，具體用于對(duì)待進(jìn)行蝕刻加工的埋容材料進(jìn)行裝夾固定。具體而言，生產(chǎn)之前，將埋容材料設(shè)置在載板與蓋板之間，之后操作連接機(jī)構(gòu)將載板與蓋板連接固定，埋容材料便可被牢固夾持固定在載板與蓋板之間；由于載板開(kāi)設(shè)有第一加工窗口，蓋板開(kāi)設(shè)有第二加工窗口，則埋容材料被夾持固定后用于制作圖形的待加工表面可從第一加工窗口和第二加工窗口露出，使得治具和埋容材料可集成到蝕刻生產(chǎn)系統(tǒng)中進(jìn)行圖形制作。相較于傳統(tǒng)裝夾方式而言，本方案的治具不會(huì)存在膠帶脫落導(dǎo)致污染產(chǎn)線的問(wèn)題發(fā)生，且不會(huì)存在膠帶沾污埋容材料表面，影響埋容材料成品品質(zhì)的問(wèn)題。

下面對(duì)本申請(qǐng)的技術(shù)方案作進(jìn)一步的說(shuō)明：

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一加工窗口開(kāi)設(shè)于所述載板的中部位置，所述第二加工窗口開(kāi)設(shè)于所述蓋板的中部位置，且所述第一加工窗口與所述第二加工窗口相對(duì)設(shè)置。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接機(jī)構(gòu)包括粘接件和貫穿所述蓋板的厚度方向設(shè)置的邊槽，所述粘接件粘接于所述蓋板上且透過(guò)所述邊槽同時(shí)與所述載板粘接。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述邊槽的數(shù)量為至少兩個(gè)，且至少兩個(gè)所述邊槽環(huán)繞所述第二加工窗口設(shè)置，所述粘接件也為至少兩個(gè)并與所述邊槽一一對(duì)應(yīng)配合。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述蓋板為矩形，所述埋容材料也為矩形；所述蓋板的四條邊上均設(shè)有所述邊槽，且位于兩條長(zhǎng)邊上的所述邊槽之間的最短距離大于所述埋容材料的寬度，位于兩條短邊上的所述邊槽之間的最短距離大于所述埋容材料的長(zhǎng)度。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述連接機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述載板與所述蓋板的其中之一上的扣位，及設(shè)置于所述載板與所述蓋板的其中另一上的扣體，所述扣體與所述扣位卡扣連接。