[發明專利]基板玻璃缺陷檢測方法及裝置

在審

• 申請號: 202010131362.X
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111239161A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 李青;李赫然;吳松江;蘇記華;劉丹;張曉宇;尚建威;付沖;李崗
• 申請（專利權）人: 鄭州旭飛光電科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 金蘭

本公開涉及一種基板玻璃缺陷檢測方法及裝置，該基板玻璃缺陷檢測方法包括：將基板玻璃沿其厚度方向均勻地分成N個檢測層，N為≥4的自然數并為4的倍數；設定第1層檢測層至第N/4層檢測層為基板玻璃的第一比對區域，第N/4+1層檢測層至第3N/4層檢測層設定為基板玻璃的第二比對區域，第3N/4+1層檢測層至第N層檢測層設定為基板玻璃的第三比對區域；對基板玻璃的缺陷位置處的各檢測層進行圖像采集；對所采集的圖像進行識別，并通過將其與所對應的對比區域的標準缺陷尺寸進行比對，以判斷是否符合標準。該種檢測方法便于判斷基板玻璃是否合格、且檢測精度高。

技術領域

本公開涉及基板玻璃制造加工領域，具體地，涉及一種基板玻璃缺陷檢測方法及裝置。

背景技術

液晶基板玻璃是顯示領域的基板，廣泛應用于各種顯示器中。隨著顯示領域對像素和對比度要求的提高，液晶基板玻璃的缺陷也要更少更小。

液晶基板玻璃的缺陷主要表現為玻璃表面和玻璃內部的氣泡、鉑金、灰塵、結石等，而液晶基板玻璃的缺陷要求是：工作面缺陷尺寸不大于0.02毫米，內部缺陷尺寸不大于0.05毫米，非工作面缺陷尺寸不大于0.1毫米。

由于面檢相機要檢查整塊液晶基板玻璃，只能拍到缺陷大概外形，無法確認缺陷具體尺寸和層次，不能判斷所檢測液晶基板玻璃是否合格。這就要求在檢驗液晶基板玻璃時，檢驗員要對面檢發現的缺陷進行復檢，判斷缺陷大小及層次。由于液晶基板玻璃是透明的，缺陷尺寸較小，利用人工肉眼觀察難以判斷具體層次及大小且檢查效率低。

發明內容

本公開的目的是提供一種基板玻璃缺陷檢測方法及裝置，該基板玻璃缺陷檢測方法便于判斷基板玻璃是否合格、且檢測精度高。

為了實現上述目的，本公開提供一種基板玻璃缺陷檢測方法，所述基板玻璃缺陷檢測方法包括：將基板玻璃沿其厚度方向均勻地分成N個檢測層，N為≥4的自然數并為4的倍數；設定第1層檢測層至第N/4層檢測層為所述基板玻璃的第一比對區域，第N/4+1層檢測層至第3N/4層檢測層設定為所述基板玻璃的第二比對區域，第3N/4+1層檢測層至第N層檢測層設定為所述基板玻璃的第三比對區域；對所述基板玻璃的缺陷位置處的各檢測層進行圖像采集；對所采集的圖像進行識別，并通過將其與所對應的對比區域的標準缺陷尺寸進行比對，以判斷是否符合標準。

可選地，所述對所述基板玻璃的缺陷位置處的各檢測層進行圖像采集包括：通過圖像采集設備的變焦來實現對N個檢測層的分別檢測。

可選地，所述基板玻璃的厚度為0.4mm或0.8mm，N為4，或N為8，或N為16。

可選地，所述第一比對區域的標準缺陷尺寸為不大于0.02mm，所述第二比對區域的標準缺陷尺寸為不大于0.05mm，所述第三比對區域的標準缺陷尺寸為不大于0.1mm。

本公開還提供一種基板玻璃缺陷檢測裝置，所述基板玻璃檢測裝置可根據所述的基板玻璃缺陷檢測方法對所述基板玻璃進行缺陷檢測，其包括控制單元、用于對所述基板玻璃的缺陷位置進行圖像采集的可變焦的攝像單元；所述攝像單元包括驅動部、可移動的物側透鏡、固定設置的攝像單元本體、以及與所述攝像單元本體固定連接的像側透鏡，所述驅動部根據所述控制單元發送的控制指令驅動所述物側透鏡沿其中心線方向移動，以實現對所述缺陷位置處N個檢測層的聚焦及圖像采集；所述控制單元用于對所述攝像單元所采集的圖像進行識別，并通過將其與所對應的對比區域的標準缺陷尺寸進行比對，以判斷是否符合標準。

可選地，所述基板玻璃缺陷檢測裝置還包括用于對所述基板玻璃的缺陷位置進行照明的光源，所述光源的中心線與所述物側透鏡的中心線重合，以使所述光源發射出的光束沿所述攝像單元的圖像采集路徑射向所述缺陷位置。

可選地，所述光源選用LED發光二極管，以發射出波長在400-800nm之間、光束發散性為37°且輻射面積大于10mm²的可見光。