[發(fā)明專利]基板玻璃缺陷檢測(cè)方法及裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010131362.X
• 申請(qǐng)日: 2020-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN111239161A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李青;李赫然;吳松江;蘇記華;劉丹;張曉宇;尚建威;付沖;李崗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭州旭飛光電科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/958
• 分類號(hào): G01N21/958
• 代理公司: 北京英創(chuàng)嘉友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11447
• 代理人: 金蘭

1.一種基板玻璃缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，所述基板玻璃缺陷檢測(cè)方法包括：

將基板玻璃(100)沿其厚度方向均勻地分成N個(gè)檢測(cè)層，N為≥4的自然數(shù)并為4的倍數(shù)；

設(shè)定第1層檢測(cè)層至第N/4層檢測(cè)層為所述基板玻璃(100)的第一比對(duì)區(qū)域，第N/4+1層檢測(cè)層至第3N/4層檢測(cè)層設(shè)定為所述基板玻璃(100)的第二比對(duì)區(qū)域，第3N/4+1層檢測(cè)層至第N層檢測(cè)層設(shè)定為所述基板玻璃(100)的第三比對(duì)區(qū)域；

對(duì)所述基板玻璃(100)的缺陷位置處的各檢測(cè)層進(jìn)行圖像采集；

對(duì)所采集的圖像進(jìn)行識(shí)別，并通過將其與所對(duì)應(yīng)的對(duì)比區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)缺陷尺寸進(jìn)行比對(duì)，以判斷是否符合標(biāo)準(zhǔn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，所述對(duì)所述基板玻璃(100)的缺陷位置處的各檢測(cè)層進(jìn)行圖像采集包括：通過圖像采集設(shè)備的變焦來實(shí)現(xiàn)對(duì)N個(gè)檢測(cè)層的分別檢測(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，所述基板玻璃(100)的厚度為0.4mm或0.8mm，N為4，或N為8，或N為16。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，所述第一比對(duì)區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)缺陷尺寸為不大于0.02mm，所述第二比對(duì)區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)缺陷尺寸為不大于0.05mm，所述第三比對(duì)區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)缺陷尺寸為不大于0.1mm。

5.一種基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述基板玻璃檢測(cè)裝置可根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)方法對(duì)所述基板玻璃(100)進(jìn)行缺陷檢測(cè)，其包括控制單元、用于對(duì)所述基板玻璃(100)的缺陷位置進(jìn)行圖像采集的可變焦的攝像單元；

所述攝像單元包括驅(qū)動(dòng)部(21)、可移動(dòng)的物側(cè)透鏡(22)、固定設(shè)置的攝像單元本體(23)、以及與所述攝像單元本體(23)固定連接的像側(cè)透鏡(24)，所述驅(qū)動(dòng)部(21)根據(jù)所述控制單元發(fā)送的控制指令驅(qū)動(dòng)所述物側(cè)透鏡(22)沿其中心線方向移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述缺陷位置處N個(gè)檢測(cè)層的聚焦及圖像采集；

所述控制單元用于對(duì)所述攝像單元所采集的圖像進(jìn)行識(shí)別，并通過將其與所對(duì)應(yīng)的對(duì)比區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)缺陷尺寸進(jìn)行比對(duì)，以判斷是否符合標(biāo)準(zhǔn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置還包括用于對(duì)所述基板玻璃(100)的缺陷位置進(jìn)行照明的光源(4)，所述光源(4)的中心線與所述物側(cè)透鏡(22)的中心線重合，以使所述光源(4)發(fā)射出的光束沿所述攝像單元的圖像采集路徑(A)射向所述缺陷位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光源(4)選用LED發(fā)光二極管，以發(fā)射出波長(zhǎng)在400-800nm之間、光束發(fā)散性為37°且輻射面積大于10mm²的可見光。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置還包括測(cè)距單元(3)，所述測(cè)距單元(3)用于測(cè)量該檢測(cè)裝置與所述基板玻璃(100)之間的距離，所述控制單元用于根據(jù)所述測(cè)距單元(3)測(cè)得的距離信息控制所述攝像單元聚焦在所述基板玻璃(100)的缺陷位置處靠近該檢測(cè)裝置的一面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述測(cè)距單元(3)包括激光發(fā)射器、以及用于接收從該激光發(fā)射器射出并經(jīng)所述缺陷位置處靠近該檢測(cè)裝置的一面反射的激光的光電接收器。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板玻璃缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，所述攝像單元還包括第一反射機(jī)構(gòu)(25)和第二反射機(jī)構(gòu)(26)，所述物側(cè)透鏡(22)的中心線用于與所述基板玻璃(100)平行，所述像側(cè)透鏡(24)的中心線用于與所述基板玻璃(100)垂直，所述第一反射機(jī)構(gòu)(25)用于將所述缺陷位置的圖像信息反射至所述物側(cè)透鏡(22)，所述第二反射機(jī)構(gòu)(26)用于將所述物側(cè)透鏡(22)接收的所述圖像信息反射至所述像側(cè)透鏡(24)。