[發明專利]掩膜板張網方法、掩膜板張網裝置及掩膜板

有效

• 申請號: 202010129968.X
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111218645B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 余強根;卓林海;王亞
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 娜拉

本發明公開了一種掩膜板張網方法、掩膜板張網裝置及掩膜板。掩膜板張網方法包括：在張網平臺上預設坐標系；將掩膜板框架置于張網平臺上，獲取第一對位點在坐標系中的第一實際位置；對掩膜板框架進行框架位置校正，獲取第一對位點在坐標系中的校正位置；根據第一對位點的校正位置和第一實際位置得到補償參數；將掩膜單元與掩膜板框架連接，獲取第二對位點在坐標系中的第二實際位置；根據補償參數對第二對位點進行位置補償，得到第二對位點的補償后位置；以及根據第二對位點的補償后位置和第一對位點的校正位置，對掩膜單元進行掩膜單元位置校正。根據本發明實施例的掩膜板張網方法，提高張網組裝過程的效率。

技術領域

本發明涉及掩膜板領域，具體涉及一種掩膜板張網方法、掩膜板張網裝置及掩膜板。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示面板因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數字助理、數字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品，成為顯示裝置中的主流。

OLED顯示面板在生產過程中，需要將有機材料蒸鍍在基板上，其中蒸鍍工藝中通常需要用到精細金屬掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)。FMM在使用前，需要將掩膜單元(掩膜條)連接在掩膜板框架上，該過程需要在張網裝置上進行，即需要進行張網組裝的過程。

在現有的張網裝置中，采用多軸驅動的機械機構帶動張網平臺作平移或旋轉運動，從而用于張網過程中的對位操作。每個掩膜板通常包括一個掩膜板框架和多個掩膜單元，除了對掩膜板框架進行對位時需要驅動張網平臺作平移或旋轉運動外，每次對掩膜單元的對位也需要驅動張網平臺作平移或旋轉運動，使得掩膜板張網組裝的過程用于對位操作的時間過長，降低生產效率。

發明內容

本發明提供一種掩膜板張網方法、掩膜板張網裝置及掩膜板，提高掩膜板張網組裝過程的效率。

第一方面，本發明實施例提供一種掩膜板張網方法，掩膜板包括掩膜板框架以及多個掩膜單元，掩膜板框架上設有第一對位點，每個掩膜單元上設有第二對位點，掩膜板張網方法包括：在張網平臺上預設坐標系；將掩膜板框架置于張網平臺上，獲取第一對位點在坐標系中的第一實際位置；對掩膜板框架進行框架位置校正，獲取第一對位點在坐標系中的校正位置；根據第一對位點的校正位置和第一實際位置得到補償參數；將掩膜單元與掩膜板框架連接，獲取第二對位點在坐標系中的第二實際位置；根據補償參數對第二對位點進行位置補償，得到第二對位點的補償后位置；以及根據第二對位點的補償后位置和第一對位點的校正位置，對掩膜單元進行掩膜單元位置校正。

根據本發明第一方面的上述實施方式，掩膜板框架中第一對位點的數量為多個，對掩膜板框架進行框架位置校正，獲取第一對位點在坐標系中的校正位置包括：預設第一對位點在坐標系中的標準位置；預設模擬校正庫，模擬校正庫中預存多組模擬校正參數；根據各組模擬校正參數對掩膜板框架進行模擬校正，得到多組模擬點陣，每組模擬點陣包括掩膜板框架中的各第一對位點的模擬校正位置；獲得各組模擬點陣分別對應的總偏差；將總偏差最小的模擬點陣所包括的各第一對位點的模擬校正位置作為各第一對位點的校正位置。

根據本發明第一方面的上述任一實施方式，掩膜板框架呈矩形，掩膜板框架中第一對位點的數量為四個并分別對應設置于掩膜板框架的四角，模擬校正參數包括角度模擬校正參數以及平移模擬校正參數；優選地，角度模擬校正參數配置為將第一對位點以四個第一對位點的對角線交點為旋轉中心進行順時針旋轉變換的旋轉角度；平移模擬校正參數配置為將第一對位點進行平移變換的平移向量。

根據本發明第一方面的上述任一實施方式，模擬校正庫中預存的多組模擬校正參數的角度模擬校正參數的范圍為-0.1°至0.1°。