[發明專利]一種制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置在審
| 申請號： | 202010120385.0 | 申請日： | 2020-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN112786735A | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發明（設計）人： | 岳丁杰;張巧華 | 申請（專利權）人： | 南京和洪智能設備有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 211106 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制作 異質結 太陽能電池 刻蝕 裝置 | ||
1.一種制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：包括
工藝槽（13），其內盛裝化學溶液；
帶液滾輪（15），并排安裝于所述工藝槽（13）；
槽板花籃（14），置于所述帶液滾輪（15）的頂部；
硅片（16），并排插入該槽板花籃（14）。
2.根據權利要求1所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述化學溶液浸泡帶液滾輪（15）的深度為1/3～4/5倍的帶液滾輪（15）的外徑。
3.根據權利要求1所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述帶液滾輪（15）的圓周表面設有凹和/或凸面。
4.根據權利要求3所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述凹面為直型槽（151）或螺紋槽（153）。
5.根據權利要求3所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述直型槽（151）或螺紋槽（153）的槽寬度 0.1～3mm，槽深度0.1～3mm。
6.根據權利要求3所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述凸面為凸起（152）。
7.根據權利要求3所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述凹凸面為磨砂面。
8.根據權利要求1-7任一項所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述化學溶液為濃度為≥3%的堿溶液，所述堿溶液為KOH溶液，溶液溫度為35℃～80℃。
9.根據權利要求1-7任一項所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述硅片（16）沉積透明導電膜層；在沉積透明導電膜層時，將硅片（16）安裝于鏤空工裝（11）；所述鏤空工裝（11）的中間部位鏤空，在鏤空的四個角設有角支撐（12），該角支撐（12）用于支撐該硅片（16）的四個角的背面。
10.根據權利要求9所述的制作異質結太陽能電池的刻蝕裝置，其特征在于：所述角支撐（12）的寬度為0.5～0.9mm，其長度和硅片圓角弧長相等。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于南京和洪智能設備有限公司，未經南京和洪智能設備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010120385.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：數據訪問方法、裝置及存儲介質
- 下一篇：確定位姿的方法、裝置和系統
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
