[發明專利]立體光刻設備和用于調設立體光刻設備的方法

有效

• 申請號: 202010118237.5
• 申請日: 2020-02-26
• 公開（公告）號: CN111619105B
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: M·韋特斯登;S·蓋斯布爾勒
• 申請（專利權）人: 伊沃克拉爾維瓦登特股份公司
• 主分類號: B29C64/124
• 分類號: B29C64/124;B29C64/264;B29C64/393;B33Y30/00;B33Y50/02
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 李鴻達

1.立體光刻設備(100)，所述立體光刻設備包括：

光源(101)，所述光源用于發出用于固化光固化材料(121)的光；

傳感器(103)，所述傳感器用于確定所發出的光的光強度的實際值；和

控制單元(105)，所述控制單元用于適配通過所述光源(101)的電流，直至所述光強度的實際值達到預給定的額定值為止，其中，所述立體光刻設備(100)構造用于經由數字微鏡器件(113)將光從所述光源(101)轉向到所述傳感器(103)，所述數字微鏡器件用于將光圖案(123)投射到所述光固化材料(121)上。

2.按照權利要求1所述的立體光刻設備(100)，其中，所述數字微鏡器件(113)與棱鏡面相鄰地設置。

3.按照權利要求1或2所述的立體光刻設備(100)，其中，所述立體光刻設備(100)構造用于通過所述數字微鏡器件(113)將預給定的光圖案投射到所述傳感器(103)上。

4.按照權利要求1或2所述的立體光刻設備(100)，其中，所述立體光刻設備(100)包括用于將光轉向到所述傳感器(103)上的鏡面(109)。

5.按照權利要求4所述的立體光刻設備(100)，其中，所述鏡面(109)與棱鏡光闌(117)相鄰地設置。

6.按照權利要求1或2所述的立體光刻設備(100)，其中，所述傳感器(103)特別構造用于檢測在所述立體光刻設備中使用的光譜。

7.按照權利要求6所述的立體光刻設備(100)，其中，所述傳感器(103)通過光電二極管構成。

8.按照權利要求1或2所述的立體光刻設備(100)，其中，所述控制單元(105)包括用于調節通過所述光源(101)的電流的調節器(119)。

9.用于調設立體光刻設備(100)的方法，所述方法具有以下步驟：

-借助于光源(101)發出(S101)用于固化光固化材料(121)的光；

-確定(S102)所發出的光的光強度的實際值；并且

-適配(S103)通過所述光源(101)的電流，直至所述光強度的實際值達到預給定的額定值為止，其中，通過數字微鏡器件(113)將光從所述光源(101)轉向到傳感器(103)，所述傳感器用于將光圖案(123)投射到所述光固化材料(121)上。

10.按照權利要求9所述的方法，其中，通過所述數字微鏡器件(113)將預給定的光圖案投射到傳感器(103)上。

11.按照權利要求9或10所述的方法，其中，經由鏡面(109)將光轉向到傳感器(103)上。

12.按照權利要求9或10所述的方法，其中，通過調節器(119)將電流調節到額定值。

13.按照權利要求9或10所述的方法，其中，將光引導通過棱鏡光闌(117)。