[發明專利]MEMS麥克風器件的檢測方法有效
| 申請號： | 202010116825.5 | 申請日： | 2020-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN111314838B | 公開（公告）日： | 2021-08-27 |
| 發明（設計）人： | 代衛路;高冰玲 | 申請（專利權）人： | 紹興中芯集成電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R29/00 | 分類號： | H04R29/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 麥克風 器件 檢測 方法 | ||
1.一種MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，所述方法包括：
在所述MEMS麥克風器件的背面貼附靜電膜，所述靜電膜承載所述MEMS麥克風器件；
將背面貼附有所述靜電膜的所述MEMS麥克風器件置于靜電吸盤上進行檢測；其中，所述靜電膜與所述靜電吸盤接觸。
2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，在所述MEMS麥克風器件的背面貼附靜電膜包括：
提供所述靜電膜,所述靜電膜包括膜本體和形成于所述膜本體上的粘性材料層；
將所述靜電膜貼附于所述MEMS麥克風器件的背面，所述粘性材料層與所述MEMS麥克風器件的背面相接觸。
3.根據權利要求2所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，所述靜電膜在所述MEMS麥克風器件背面的正投影覆蓋所述MEMS麥克風器件的背面，且所述正投影的邊緣與所述MEMS麥克風器件的邊緣具有間距。
4.根據權利要求3所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，將所述靜電膜貼經由所述粘性材料層附于所述MEMS麥克風器件的背面之后還包括：
沿所述MEMS麥克風器件的邊緣切割所述靜電膜。
5.根據權利要求2所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，將背面貼附有所述靜電膜的所述MEMS麥克風器件置于靜電吸盤上進行檢測之后還包括：
將背面形成有所述靜電膜的所述MEMS麥克風器件自所述靜電吸盤上取下；
將所述MEMS麥克風器件和所述靜電膜分離。
6.根據權利要求5所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，所述粘性材料層包括硅膠。
7.根據權利要求6所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，將所述MEMS麥克風器件和所述靜電膜分離包括：
采用紫外線照射所述硅膠，以使所述硅膠粘附力減弱；
將所述靜電膜從所述MEMS麥克風器件上剝離。
8.根據權利要求7所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，所述膜本體的材料包括聚苯二甲酸乙二醇酯。
9.根據權利要求8所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，所述靜電膜的厚度為36um～44um。
10.根據權利要求1所述的MEMS麥克風器件的檢測方法，其特征在于，將背面形成有所述靜電膜的所述MEMS麥克風器件置于靜電吸盤上并放置于掃描電鏡中進行檢測。
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