[發明專利]開關元件及其制造方法

在審

• 申請號: 202010115774.4
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN111627999A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: 永岡達司;西中浩之;吉本昌廣
• 申請（專利權）人: 豐田自動車株式會社;國立大學法人京都工蕓纖維大學
• 主分類號: H01L29/78
• 分類號: H01L29/78;H01L29/04;H01L29/423;H01L21/34;H01L23/367;H01L23/373
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何沖

1.一種開關元件，

其具有：

氧化鎵基板，其由氧化鎵晶體構成；以及

多個柵極，其隔著柵極絕緣膜與所述氧化鎵基板相對，

所述氧化鎵基板的上表面與所述氧化鎵晶體的(010)晶面平行，

當俯視觀察所述氧化鎵基板的所述上表面時，各個所述柵極的長度方向與所述氧化鎵晶體的(100)晶面延伸的方向相交。

2.根據權利要求1所述的開關元件，其中，

所述氧化鎵基板的所述上表面設置有多個溝槽，

當俯視觀察所述氧化鎵基板的所述上表面時，各個所述溝槽的長度方向與所述(100)晶面延伸的方向相交，

多個所述柵極配置在多個所述溝槽內。

3.根據權利要求1或2所述的開關元件，其中，

所述開關元件還具有柵極板，所述柵極板配置在所述氧化鎵基板的所述上表面的上部，與各個所述柵極連接，

所述氧化鎵基板具有：

第一側面，其由所述(100)晶面構成；以及

第二側面，其由所述氧化鎵晶體的(001)晶面構成，

當俯視觀察所述氧化鎵基板的所述上表面時，所述柵極板配置在從所述第一側面與所述第二側面的連接部沿著與所述第二側面垂直的方向延伸的直線、和所述第一側面之間的范圍內。

4.根據權利要求1或2所述的開關元件，其中，

所述開關元件還具有：

主電極，其配置在所述氧化鎵基板的所述上表面的上部；以及

柵極板，其配置在所述氧化鎵基板的所述上表面的上部，與各個所述柵極連接，

所述氧化鎵基板具有：

第三側面，其與所述(100)晶面平行；以及

第四側面，其與所述(100)晶面及所述(010)晶面這兩個晶面垂直，

當俯視觀察所述氧化鎵基板的所述上表面時，所述主電極和所述柵極板在所述(100)晶面延伸的方向上隔著間隔配置。

5.根據權利要求1～4中任意一項所述的開關元件，其中，

當俯視觀察所述氧化鎵基板的所述上表面時，與所述(100)晶面垂直的方向上的所述氧化鎵基板的長度，與所述(100)晶面延伸的方向上的所述氧化鎵基板的長度相比較短。

6.一種制造方法，其用于制造權利要求1～5中任意一項所述的開關元件，具有下述工序：

通過對由氧化鎵晶體構成且具有2英寸以上直徑的氧化鎵晶片的表面進行研磨，而將所述氧化鎵晶片薄板化的工序；以及

使用所述氧化鎵晶片制造所述開關元件的工序。