[發明專利]成膜裝置、成膜方法以及電子器件制造方法

有效

• 申請號: 202010114404.9
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN111621762B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 佐藤昌明
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L21/68;H10K71/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉楊

本發明提供用于抑制蒸鍍位置監視用的成膜速率測量部的更換周期的縮短的成膜裝置、成膜方法以及電子器件制造方法。成膜裝置的特征在于，包括：容器；第1蒸發源，設置在容器內，包括多個坩堝；第1成膜速率測量部，朝向第1蒸發源的第1位置地被設置；第2成膜速率測量部，朝向第1蒸發源的第2位置地被設置；第1可動式開閉部件，設置在與第1位置對應的位置；以及第1罩部件，設置在與第2位置對應的位置，且被設置成固定于容器，第1位置與第1成膜速率測量部之間的第1距離大于第2位置與第2成膜速率測量部之間的第2距離。

技術領域

本發明涉及成膜裝置、成膜方法以及電子器件制造方法，特別是涉及成膜速率測量部件的配置構造。

背景技術

最近，作為平板顯示裝置，有機EL顯示裝置(有機EL顯示器)受到關注。有機EL顯示裝置是自發光顯示器，響應速度、視角、薄型化等特性優于液晶面板顯示器，由監視器、電視機、智能手機所代表的各種便攜終端等正迅速地代替現有的液晶面板顯示器。另外，其應用領域也擴大至汽車用顯示器等。

構成有機EL顯示裝置的有機發光元件(有機EL元件：OLED)具有在兩個相向的電極(陰極電極、陽極電極)之間形成有引起發光的有機物層的基本構造。有機發光元件的有機物層和金屬電極層通過在成膜裝置中加熱收容有成膜材料的蒸發源，使成膜材料蒸發，使成膜材料的蒸發粒子隔著形成有像素圖案的掩模堆積在基板上來制造。

特別是，如圖8所示，用于在基板上形成金屬電極層的成膜裝置的蒸發源700在圓周上配置多個坩堝710～770，電極材料從多個坩堝中位于蒸鍍位置的坩堝710蒸發，在基板上進行成膜。當蒸鍍位置的坩堝710內的成膜材料耗盡時，蒸發源700旋轉，處于預熱位置的坩堝760移動到蒸鍍位置，由此持續地進行成膜(專利文獻1)。

在成膜裝置中，為了對在基板上成膜的成膜材料的厚度以及成膜速率進行測量以及控制，使用石英晶體振子監視器。即，在成膜裝置中，利用石英晶體振子的諧振頻率與堆積在石英晶體振子的電極上的成膜材料的厚度的關系，算出在基板上成膜的成膜材料的厚度和成膜速率。

但是，若在石英晶體振子的電極上堆積規定的厚度以上的成膜材料，則石英晶體振子的諧振振動變得不穩定，不能根據石英晶體振子的諧振頻率來測量膜厚。若產生這樣的現象，則判定為石英晶體振子的壽命到期，更換石英晶體振子。

專利文獻1：日本特開2006-249575號公報

在用于將金屬電極層成膜于基板的成膜裝置中，為了對位于蒸鍍位置的坩堝710和位于預熱位置的坩堝760分別監視蒸發速率或成膜速率，設置蒸鍍位置監視用的石英晶體振子監視器和預熱位置監視用的石英晶體振子監視器。

另外，由于蒸鍍位置監視用的石英晶體振子監視器與預熱位置監視用的石英晶體振子監視器相比，監視蒸發源的坩堝的成膜速率的時間長，所以堆積在蒸鍍位置監視用的石英晶體振子的電極上的成膜材料的厚度達到規定的厚度的時間比預熱位置監視用的石英晶體振子的情況短。因此，蒸鍍位置監視用的石英晶體振子監視器比預熱位置監視用的石英晶體振子監視器提前到達壽命。由此，存在蒸鍍位置監視用的石英晶體振子監視器的更換周期相對變短的課題。

發明內容

本發明鑒于上述課題，其主要目的在于提供一種用于抑制蒸鍍位置監視用的成膜速率測量部的更換周期的縮短的技術。

用于解決課題的技術方案

本發明的第1技術方案的成膜裝置，其特征在于，該成膜裝置包括：容器；第1蒸發源，設置在所述容器內，包括多個坩堝；第1成膜速率測量部，朝向所述第1蒸發源的第1位置地被設置；第2成膜速率測量部，朝向所述第1蒸發源的第2位置地被設置；第1可動式開閉部件，設置在與所述第1位置對應的位置；以及第1罩部件，設置在與所述第2位置對應的位置，且被設置成固定于所述容器，所述第1位置與所述第1成膜速率測量部之間的第1距離大于所述第2位置與所述第2成膜速率測量部之間的第2距離。